[发明专利]一种可变电极晶体生长炉

说明书

本发明提供一种可变电极晶体生长炉，包括：炉筒，顶部具有炉筒口；大盖，固定在所述炉筒口上，所述大盖具有大盖口；小盖，紧固在所述大盖口上；炉体电极，位于所述炉筒中且固定在所述大盖上，所述炉筒、大盖、小盖以及炉体电极中均设置有循环水通道。所述炉体电极包括一炉体整圆环电极和两个炉体半圆环电极，所述可变电极晶体生长炉还包括加热棒电极和加热棒。加热棒半圆环电极上均布分布所述加热棒，加热棒穿过但不接触本侧加热棒半圆环电极下绝缘材料、加热棒整圆环电极，弯折回对侧加热棒半圆环电极下方的加热棒整圆环电极上。本发明通过炉体、大盖、小盖以及炉体电极之间的安装连接，使整个晶体生长炉实现密封状态，为生长炉中温场的稳定提供保障。

技术领域

本发明涉及与单晶生长相关的加热装置，特别是涉及一种可变电极晶体生长炉。

背景技术

蓝宝石具有多种优异性能，被广泛地应用于国防、科研和民用的许多领域。近年来，随着LED产业的发展蓝宝石作为其商业化可行性最好的衬底材料，其应用市场急剧膨胀。如何精确可控地生长蓝宝石晶体一直是晶体生长研究人员关注的课题。目前，生长高质量、大尺寸蓝宝石晶体的方法主要包括：提拉法、泡生法、温梯法、热交换法等。

其中，泡生法(Kyropoulos method)是一种从熔融液体中生长单晶体的晶体生长法，其被广泛应用于蓝宝石单晶的生长，是目前公认的蓝宝石产出品质最好、成品率最高的宝石生长方式。但是，由于炉内为2000摄氏度以上高温，故对晶体生长炉加热装置的发热效率、变形量、使用寿命有较高的要求。

为了更好满足生长温场设计的需要，多种选择方案中选定最适合的方案时加热棒的粗细、根数、串并联各种灵活改变方式很重要。

加热器、保温材料等耗材存在制作工艺复杂，成本较高的问题，加热器由于高温和自身结构原因易发生变形、老化问题，降低了温场温度梯度的稳定性，对产品质量产生不良影响。另外，炉筒和盖体以及电极之间的可靠安装也是保证产品质量的关键。因此，在目前的蓝宝石晶体生长行业中，稳定可靠的晶体生长炉成为产品质量成败的的重要因素。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种可变电极晶体生长炉，用于解决现有技术的晶体生长炉中温场的结构以及热不够稳定的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种可变电极晶体生长炉，所述晶体生长炉至少包括：

炉筒，顶部具有炉筒口；

大盖，固定在所述炉筒口上，所述大盖具有大盖口；

小盖，紧固在所述大盖口上；

炉体电极，位于所述炉筒中且固定在所述大盖上，所述炉筒、大盖、小盖以及炉体电极中均设置有循环水通道。

优选地，所述小盖上设置有籽晶杆通过孔和观察孔。

优选地，所述大盖通过密封胶圈密封固定在所述炉筒口上。

优选地，所述小盖通过紧固螺栓和密封胶圈紧固在所述大盖口上。

优选地，所述炉体电极包括一炉体整圆环电极和两个炉体半圆环电极，所述两个炉体半圆环电极非接触地设置在炉体整圆环电极的上方。

优选地，所述炉体电极上设置有固定柱，所述固定柱上设置有卡槽，所述固定柱中设置有循环水通道，所述炉体电极通过所述卡槽固定在所述大盖上。