[发明专利]电子装置、电子装置的制造方法

权利要求书

1.一种电子装置，其特征在于，在将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，具备：

基板；

第一功能元件，其在从所述Z轴方向俯视观察时与所述基板重叠，并基于静电电容的变化而对加速度进行检测，并且，包括能够位移的第一可动部，所述第一可动部与所述基板分离；

第二功能元件，其在从所述Z轴方向俯视观察时与所述基板重叠，并基于静电电容的变化而对加速度进行检测，并且，包括能够位移的第二可动部，所述第二可动与所述基板分离；以及

外缘部，其在从所述Z轴方向俯视观察时与所述基板重叠，并沿着所述第一功能元件的外周而配置，

其中，所述外缘部为在从Z轴方向俯视观察时包围所述第一功能元件的框，并包括沿着所述X轴方向的第一外缘部和第二外缘部，以及沿着所述Y轴方向的第三外缘部和第四外缘部，

在从所述Z轴方向俯视观察时，

于所述第一外缘部、所述第二外缘部、所述第三外缘部以及所述第四外缘部中的至少一个上，以隔开间隔的方式而配置有：

第一槽部，其在X轴方向上延伸；

第二槽部，其在Y轴方向上延伸；以及

第三槽部，其延伸方向与所述第一槽部的延伸方向以及所述第二槽部的延伸方向交叉，

所述外缘部为矩形形状，

所述第一槽部、所述第二槽部以及所述第三槽部中的至少一个被设置于所述第一功能元件与所述第二功能元件之间。

2.如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，

所述第一槽部以及所述第二槽部被排列配置于所述第一功能元件的外周的至少一侧。

3.如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，

所述第一功能元件具备：

固定部；

支承部，其从所述固定部延伸出，

并且，所述第一可动部通过所述支承部以能够位移的方式而被支承。

4.如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，

所述第一功能元件与所述外缘部为相同材料。

5.如权利要求3所述的电子装置，其特征在于，

所述第一可动部在所述X轴方向上进行位移。

6.如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，

当从所述Z轴方向俯视观察时，由所述第一槽部、所述第二槽部以及所述第三槽部构成的图形以呈旋转对称的方式而配置。

7.如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，

所述第一槽部以及所述第三槽部中的至少一个在所述Z轴方向上，贯穿所述外缘部。

8.如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，

所述外缘部为固定电位。

9.如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，

所述第一槽部和所述第三槽部为包含多个槽的槽组。

10.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1所述的电子装置。

11.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1所述的电子装置。