[发明专利]电子装置、电子装置的制造方法

说明书

一种电子装置、电子装置的制造方法。物理量传感器为，抑制了由于使用的环境的温度变化而引起的检测特性的变动的、检测特性更为稳定的物理量传感器。物理量传感器(1)具备第一传感器元件(99)与配置于第一传感器元件(99)的外周的至少一部分的外缘部(90)，当俯视观察外缘部(90)时，在外缘部(90)上设置有在第一方向上延伸的第一槽部(92)。

技术领域

本发明涉及电子装置、电子装置的制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体。

背景技术

一般，已知有作为具备机械式可动的结构体的电机械系统结构体的物理量传感器。作为物理量传感器，例如已知有如下的电容式传感器，其基于根据物理量(加速度、角速度等)的作用而进行位移的可动电极与同该可动电极对置的固定电极之间的静电电容来检测物理量(例如，专利文献1所记载的半导体力学传感器)。该电容式传感器例如通过支承用的基板、设置于该基板上的传感器元件(固定电极、固定部(锚定(anchor)部)、从固定部延伸出的支承部、通过支承部以与基板分离的方式而被支承的可动电极等)等而构成。另外，传感器元件例如通过利用光刻等对被贴合于基板(玻璃基板等)上的半导体基板(硅基板等)进行精密加工而获得。

在这样的电容式传感器中，存在有在传感器元件的结构中所形成的寄生电容使传感器的灵敏度降低的情况。对此，在专利文献2所记载的半导体力学传感器中，提出了通过具备将配置于传感器元件的外周的外周部的电位固定的单元(屏蔽电极)，从而防止传感器灵敏度的降低的技术。

然而，在如上述的专利文献2所记载的半导体力学传感器那样的在传感器元件的外周具备外周部的物理量传感器中，存在有作为传感器的检测特性根据使用的温度环境而发生变动的问题。具体而言，从外周部向传感器元件的可动部(可动电极)传递的干扰等漏泄振动、漏泄力对传感器元件的可动部(可动电极)的位移造成影响，致使检测特性发生变动。

专利文献1：日本特开平9-211022号公报

专利文献2：日本特开2007-279056号公报

发明内容

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的应用例或者方式而实现。

应用例1

本应用例所涉及的电子装置的特征在于，具备：第一功能元件；以及外缘部，其被配置于所述第一功能元件的外周的至少一部分处，当俯视观察所述外缘部时，在所述外缘部上设置有槽在第一方向上延伸或者以沿着所述第一方向的方式而排列配置的第一槽部。

根据本应用例，电子装置具备第一功能元件与被配置于第一功能元件的外周(俯视观察电子装置时的外周)的外缘部。此外，在外缘部上具有槽在第一方向上延伸或者以沿着第一方向的方式而排列配置的第一槽部。在这样的结构中，外缘部例如通过在外缘部上设置槽在第一方向上延伸或者以沿着第一方向的方式而排列配置的第一槽部，从而使从外缘部向第一功能元件传递的干扰等漏泄振动、漏泄力的传递通过第一槽部而被缓解。因此，能够提供抑制了由于从外部向第一功能元件传递的干扰等漏泄振动、漏泄力而引起的电特性的变动的、电特性更为稳定的电子装置。

此外，槽既可以是贯穿外缘部的槽，也可以是有底的槽。

应用例2

在上述应用例所涉及的电子装置中，优选为，当俯视观察所述外缘部时，在所述外缘部上设置有所述槽在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸或者以沿着所述第二方向的方式而排列配置的第二槽部。