[发明专利]避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室

权利要求书

1.一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置，其包括接头部件(1)和具有线性驱动轴(6)的线性驱动部件(202)，所述接头部件(1)一端固定于所述腔门(201)边缘，另一端设置一连接孔(7)；所述线性驱动部件(202)通过所述连接孔(7)驱动所述接头部件(1)转动从而开启或关闭所述腔门(201)；其特征在于，所述启闭装置还包括：挡板套筒(5)，环绕在所述线性驱动轴(6)的端部；挡板(3)，位于所述连接孔(7)一侧，通过一栓销(4)实现与所述连接孔(7)和所述挡板套筒(5)的依次连接；挡板阻件(8)，位于所述接头部件(1)上，当所述腔门(201)开启至竖直方向或腔门(201)重心至竖直方向时，所述挡板(3)与所述挡板组件(8)互相抵靠。

2.根据权利要求1所述的启闭装置，其特征在于，所述挡板(3)、所述挡板套筒(5)及所述线性驱动轴(6)在腔门(201)开启或关闭过程中保持同步转动。

3.根据权利要求1所述的启闭装置，其特征在于，所述连接孔(7)的尺寸大于所述栓销(4)的外径。

4.根据权利要求3所述的启闭装置，其特征在于，所述连接孔(7)的形状为长槽型或椭圆形。

5.根据权利要求4所述的启闭装置，其特征在于，所述长槽型连接孔(7)靠近所述线性驱动部件(202)的一端呈圆弧状；所述挡板(3)的截止端(3a)也呈圆弧状；当所述腔门(201)处于关闭状态时，所述挡板(3)的所述截止端(3a)的弧线内切于所述长槽型连接孔(7)靠近所述线性驱动部件(202)的一端的弧线；且所述长槽型连接孔(7)的中心线与所述线性驱动轴(6)的中心线重合。

6.根据权利要求1所述的启闭装置，其特征在于，所述挡板(3)靠近所述线性驱动部件(202)的一端包括一截止端(3a)，所述挡板阻件(8)为一凸起的弧形面；所述弧形面靠近所述挡板的截止端(3a)设置；当所述腔门(201)开启至竖直方向或腔门(201)重心至竖直方向时，所述挡板(3)的所述截止端(3a)与所述弧形面互相抵靠。

7.根据权利要求6所述的启闭装置，其特征在于，所述弧形面为1/4圆。

8.根据权利要求1所述的启闭装置，其特征在于，所述挡板阻件(8)与所述接头部件(1)一体设置或可拆卸安装设置。

9.根据权利要求1所述的启闭装置，其特征在于，所述挡板(3)中心位置具有与所述栓销(4)配合的第一栓销孔，用于与所述栓销(4)的一端固定连接；所述挡板套筒(5)上具有与所述栓销(4)配合的第二栓销孔，用于与所述栓销(4)的另一端固定连接。

10.根据权利要求1所述的启闭装置，其特征在于，所述启闭装置还包括一传感器(2)；所述传感器(2)连接于一联锁系统，所述联锁系统用于控制所述线性驱动部件(202)的运动。

11.根据权利要求10所述的启闭装置，其特征在于，所述传感器(2)的一端活动连接于所述接头部件(1)上，另一端夹在所述挡板(3)的边缘两侧且不与所述挡板(3)接触。

12.一种具有防止腔门过冲启闭装置的真空腔室，包括围成真空反应腔的腔门及侧壁，其特征在于：所述真空腔室设置一防止腔门过冲的启闭装置，所述启闭装置具有如权利要求1-11任一项所述的特征。