[发明专利]避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室

说明书

本发明提供了一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室，包括具有线性驱动轴的线性驱动部件和接头部件，接头部件一端固定于腔门边缘，接头部件另一端具有一连接孔；线性驱动部件的一端活动连接于真空腔的外壁上，另一端和接头部件另一端通过连接孔进行活动连接；通过线性驱动部件的旋转来驱动接头部件旋转从而打开或关闭腔门；环绕在线性驱动轴的端部的挡板套筒；位于接头部件的连接孔上的挡板，其具有靠近线性驱动部件的截止端；一栓销穿过连接孔，将挡板与挡板套套筒固定连接，且将挡板与接头部件之间活动连接；位于接头部件上的挡板阻件，其靠近挡板的截止端设置，且当挡板的截止端与挡板阻件接触后，接头部件被挡板卡住而不能继续旋转。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室。

背景技术

真空腔在工作或维护时，需要将腔门关闭或开启。通常，真空腔腔门边缘固定连接有接头部件，真空腔外壁上连接有线性驱动部件，接头部件的一端具有连接孔，一栓销穿过连接孔将接头部件的一端与线性驱动装置的一端活动连接，也即是，在开启或关闭腔门的过程中，栓销抵靠在连接孔的上端，线性驱动部件通过栓销推动接头部件实现腔门打开或闭合，接头部件可以以该栓销为支点相对线性驱动部件而产生一个相对旋转，从而将腔门开启或关闭。

当腔门关闭后，对真空腔抽真空，此时，腔门会在真空吸力的作用下进一步向下移动，为避免连接孔中的栓销与连接孔顶端发生硬性挤压，可以设置连接孔尺寸大于栓销外径尺寸。当真空腔门在抽真空过程中进一步向下降落时，采用上述连接孔可以释放施加于腔门上的力，使腔门在抽真空时可以向下移动，避免腔门向下时与现行驱动部件冲突干涉，以确保更高的真空度。

然而，由于连接孔尺寸大于栓销外径尺寸，当需要腔门开启方向超过竖直方向或腔门重心超过竖直状态时，腔门在自身的重力作用下会发生突然翻转，迫使上述栓销向连接孔的下端滑行，导致腔门产生相对于开启方向的相反方向的震动或抖动，特别是，在腔门完全开启且处于竖直状态时，由于腔门自身的重力作用以及腔门旋转的末速度，会使得腔门产生严重的过冲，导致腔门运动的不可控，并且，对易碎部件造成震动而使其损坏，还会产生不需要的颗粒物，破坏机械支撑系统。

因此，亟需探索如何避免腔门开启时的过冲问题的解决方案，以减小由于过冲带来的上述影响和损失。

发明内容

为了克服以上问题，本发明旨在提供一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置，通过设置一挡板，来阻挡腔门开启时沿着连接孔产生相对滑动。

为了实现上述目的，本发明提供了避免真空腔腔门过冲的启闭装置，其包括接头部件(1)和具有线性驱动轴(6)的线性驱动部件(202)，所述接头部件(1)一端固定于所述腔门(201)边缘，另一端设置一连接孔(7)；所述线性驱动部件(202)通过所述连接孔(7)驱动所述接头部件(1)转动从而开启或关闭所述腔门(201)；所述启闭装置还包括：

挡板套筒(5)，环绕在所述线性驱动轴(6)的端部；

挡板(3)，位于所述连接孔(7)一侧，通过一栓销(4)实现与所述连接孔(7)和所述挡板套筒(5)的依次连接；

挡板阻件(8)，位于所述接头部件(1)上，当所述腔门(201)开启至竖直方向或腔门(201)重心至竖直方向时，所述挡板(3)与所述挡板组件(8)互相抵靠。

优选地，所述挡板(3)、所述挡板套筒(5)及所述线性驱动轴(6)在腔门(201)开启或关闭过程中保持同步转动。

优选地，所述连接孔(7)的尺寸大于所述栓销(4)的外径。

优选地，所述连接孔(7)的形状为长槽型或椭圆形。