[发明专利]一种避免衬底或其上的材料受烘烤损坏的蒸发镀膜设备及应用

说明书

技术领域

本发明涉及一种避免衬底或其上的材料受烘烤损坏的蒸发镀膜设备及应用，属于蒸发镀 膜装置技术领域。

背景技术

蒸发法沉积是目前最常见的薄膜生长方式之一。热蒸发和电子束蒸发作为通用的、低成 本薄膜衬底设备，被方泛的应用于工厂企业和科研单位的薄膜沉积工艺中。蒸发法的原理是 将蒸发源升温气化产生蒸气，蒸气在样品表面凝结沉积形成薄膜。热蒸发是指使用电阻加热 的方式使蒸发源整体受热，而电子束蒸发是指蒸发源被高能电子轰击后升温变热。不论热蒸 发还是电子束蒸发，都要求蒸发源至少达到其气化温度。气化温度与蒸发源的种类、饱和蒸 气压有关，通常可达数百到数千摄氏度。例如，金的蒸发往往需要达到2000℃。此时，蒸发 源作为一个温度非常高的热源，可以在短时间内使样品温度升高。如果样品本身或者其上的 材料不能承受这样的高温烘烤，就会造成损坏。图1为蒸发前硅样品上的PMMA掩膜的图形， 图2是电子束蒸发50nm金后的PMMA掩膜图形。可以看到，图2中的PMMA已经融化变形， 原因就是蒸发金时蒸发源的高温烘烤使得PMMA超过了其玻璃化温度(125℃)，出现了软化变 形的现象。

中国专利文献CN203754797U公开了一种真空蒸发镀膜装置，包括真空室，所述真空室内 设有蒸发源和基片，所述基片的被镀一面在蒸发源之上，其中，所述基片固定在可水平往复 运动的金属板上；所述真空室的顶部开设有冷却气氛入口,所述冷却气氛入口的一侧通过调节 阀与冷却气体气源相连接，另一侧伸入真空室并设置有导气装置。该实用新型提供的真空蒸 发镀膜装置，将基片固定在可水平往复运动的金属板上；通过在真空室的顶部开设冷却气氛 入口，采用气体冷却的方式，进一步简化真空室内机械结构并能实时监测基片背后的金属板 的温度即基片的表面温度。但是，该专利向真空室内充入气体的方式会降低真空室内真空度， 影响蒸发成膜质量；同时这种利用热传导冷却的方法并不能快速有效地降低那些导热性不佳 的衬底或者衬底上的材料的温度。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种避免衬底或其上的材料受烘烤损坏的蒸发镀膜 设备；

本发明还提供了一种上述蒸发镀膜设备的应用；

术语解释

光刻胶，本文中提及的光刻胶是指由树脂型聚合物、溶剂等组成的，具有光、电子敏感 化学作用的高分子聚合物材料。包括正型、负型，紫外光刻胶和电子束光刻胶。

本发明的技术方案为：

一种避免衬底或其上的材料受烘烤损坏的蒸发镀膜设备，包括蒸发腔室、蒸发源、样品 架，所述样品架上设置衬底，所述蒸发腔室内横向设置有遮光板，所述遮光板位于所述蒸发 源与所述样品架之间，所述遮光板上设有通孔，所述蒸发源通过所述通孔在所述样品架上的 投影覆盖所述衬底，所述遮光板的材质为不透明的金属或非金属。

在蒸发腔室的真空环境中，蒸发源通过热辐射的方式对衬底或其上的材料进行加热，通 过观察和研究，我们发现衬底接收到的热辐射中的近一半是由蒸发腔室侧壁将蒸发源发出的 热辐射反射到衬底上的。在蒸发腔室内横向设置有遮光板，遮光板上设有通孔，遮光板阻止 蒸发腔室侧壁将热辐射反射到衬底或其上的材料上，从而减少衬底或其上的材料升温，防止 衬底或其上的材料因不能承受高温烘烤而损坏。

根据本发明优选的，所述通孔为圆形、多边形、闭合曲线中的任一种。

根据本发明优选的，所述遮光板的材质为铁、铝、铜、镍、锡、铅、锌、不锈钢、钢中 任一种或其中几种的合金。

根据本发明优选的，所述遮光板的材质为陶瓷、石墨、聚酰亚胺、特氟龙中的任一种。

根据本发明优选的，所述蒸发源设置在所述蒸发腔室内的下部，衬底设置在与所述蒸发源位置相对的所述蒸发腔室内的上部，所述遮光板到所述蒸发腔室内的上部的距离x满足：d为所述通孔上距离最大的两个点之间的距离，h为所述蒸发源到所述衬底的距离，l为所述蒸发源到所述蒸发腔室内壁的最短距离。

根据本发明优选的，所述材料是指光刻胶、有机半导体、低熔点无机物、低沸点无机物 中的任一种，所述低熔点或低沸点是指是指熔点或沸点低于200℃。

一种上述蒸发镀膜设备在蒸发镀膜中的应用，具体步骤包括：

(1)将所述遮光板横向设置在蒸发腔室内，所述通孔不遮挡所述蒸发源上任意一点到所 述衬底上任意一点的连线；