[发明专利]一种光刻机运动台系统和光刻机

权利要求书

1.一种光刻机运动台系统，包括基座台和位于基座台上方的工件台，其特征在于，还包括设置在基座台和工件台之间的随动台，所述随动台对所述工件台作跟随运动，所述随动台上表面始终作为所述工件台的气浮支撑面,所述工件台通过第一驱动单元驱动，所述随动台通过第二驱动单元驱动，所述第一驱动单元驱动所述工件台在基座台平面上做二维运动，所述第二驱动单元驱动所述随动台在基座台平面上做一维或二维运动。

2.根据权利要求1所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述第一驱动单元包括一台X向电机和两台平行设置的Y向电机，三台电机呈H型结构，所述X向电机的定子的两端分别连接两台所述Y向电机的动子，所述工件台设置在所述X向电机的动子上。

3.根据权利要求1所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述第二驱动单元驱动所述随动台在基座台平面上做二维运动时，所述第二驱动单元包括至少一台X向电机和至少一台Y向电机，所述随动台设置在所述X向电机的动子上。

4.根据权利要求3所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述第二驱动单元包括一台X向电机和两台平行设置的Y向电机，三台电机呈H型结构，所述X向电机的定子的两端分别连接两台所述Y向电机的动子。

5.根据权利要求3所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述第二驱动单元包括一台X向电机和一台与之交叉设置的Y向电机，两台电机呈十字型结构，所述X向电机的定子固定在所述Y向电机的动子上。

6.根据权利要求1所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述第二驱动单元驱动所述随动台在基座台平面上做一维运动时，若所述工件台在X轴向的行程不小于Y轴向的行程，所述第二驱动单元包括至少一台X向电机,且随动台在Y轴向的宽度不小于工件台在Y轴向的行程。

7.根据权利要求6所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述第二驱动单元包括两台平行设置的X向电机，所述随动台的Y轴向两端分别设置在两台所述X向电机的动子上。

8.根据权利要求1所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述第二驱动单元驱动所述随动台在基座台平面上做一维运动时，若所述工件台在X轴向的行程小于Y轴向的行程，所述第二驱动单元包括至少一台Y向电机,且随动台在X轴向的宽度不小于工件台在X轴向的行程。

9.根据权利要求8所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述第二驱动单元包括两台平行设置的Y向电机，所述随动台的X轴向两端分别设置在两台所述Y向电机的动子上。

10.根据权利要求1所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述随动台通过滚珠丝杆与所述基座台连接。

11.根据权利要求1所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述工件台上设置有垂向电机和重力补偿器。

12.根据权利要求11所述的光刻机运动台系统，其特征在于，所述垂向电机为3个，3个所述垂向电机到所述工件台的平面中心的距离相等，所述重力补偿器为3个，3个所述重力补偿器到所述工件台的平面中心的距离相等，3个所述垂向电机构成等腰三角形，3个所述重力补偿器构成等腰三角形，且两个等腰三角形倒置排布。

13.一种光刻机，其特征在于，所述光刻机的工件台系统采用权利要求1至12中任何一项所述的光刻机运动台系统。