[发明专利]一种物料输送台结构和物料输送系统及方法

权利要求书

1.一种物料输送台结构，其特征在于，包括：

一始终平行于水平面的上平台和始终平行于所述上平台并且位于所述上平台的下方的一下平台，用于上载和下载物料；

一导轨机构，其所在的直线与所述上平台和所述下平台所在的平面皆相交但不垂直，所述上平台和所述下平台沿着所述导轨机构能运动至曝光机上载和下载物料的物料口口部；

其中，所述导轨机构包括上平台导轨和下平台导轨，所述上平台导轨所在直线为所述下平台导轨所在直线的异面直线。

2.如权利要求1所述的物料输送台结构，其特征在于，在垂直方向上，所述下平台导轨位于所述下平台下方。

3.如权利要求1所述的物料输送台结构，其特征在于，在垂直方向上，所述上平台导轨位于所述上平台上方。

4.如权利要求1所述的物料输送台结构，其特征在于，在垂直方向上，所述上平台导轨位于所述上平台下方。

5.如权利要求1所述的物料输送台结构，其特征在于，在水平方向上，所述上平台导轨位于所述上平台的两侧，所述上平台与所述上平台导轨之间连接有上移动机构使得所述上平台沿着所述上平台导轨移动，所述下平台导轨位于所述下平台的两侧，所述下平台与所述下平台导轨之间连接有下移动机构使得所述下平台沿着所述下平台导轨移动。

6.如权利要求5所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上移动机构和所述下移动机构皆为气浮结构或者滚轮结构。

7.如权利要求5所述的物料输送台结构，其特征在于，所述导轨机构还包括导轨驱动器，分别为位于所述上平台导轨一侧的用于驱动所述上移动机构沿着所述上平台导轨移动的上平台驱动器和位于所述下平台导轨一侧的用于驱动所述下移动机构沿着所述下平台导轨移动的下平台驱动器。

8.如权利要求7所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上平台驱动器和所述下平台驱动器的驱动方式皆为电驱动或者气驱动或者液压驱动。

9.如权利要求1所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上平台包括上物料存储平台，所述上物料存储平台上还包括可在所述上物料存储平台上移动的上物料推送机构，所述下平台包括下物料存储平台，所述下物料存储平台上还包括可在所述下物料存储平台上移动的下物料推送机构。

10.如权利要求9所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上物料推送机构包括若干位于所述上物料存储平台上的且相互平行的上轨道以及在每个所述上轨道上滑行的上滑块，所述上滑块的滑行方向与所述上平台的运动方向一致，所述下物料推送机构包括若干位于所述下物料存储平台上的且相互平行的下轨道以及在每个所述下轨道上滑行的下滑块，所述下滑块的滑行方向与所述下平台的运动方向一致。

11.如权利要求10所述的物料输送台结构，其特征在于，每个所述上滑块上还具有若干个能够吸附物料的上吸附气柱，每个所述下滑块上还具有若干个能够吸附物料的下吸附气柱。

12.如权利要求11所述的物料输送台结构，其特征在于，每个所述上滑块上具有驱动所述上吸附气柱升降的上升降气缸，每个所述下滑块上具有驱动所述下吸附气柱升降的下升降气缸。

13.如权利要求10所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上物料存储平台上还对称分布有若干个上吸盘，所述下物料存储平台上还对称分布有若干个下吸盘。

14.如权利要求13所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上吸盘和所述下吸盘皆为真空吸盘或者磁力吸盘。

15.如权利要求10所述的物料输送台结构，其特征在于，所述上物料存储平台两侧还具有上对准夹紧机构用于固定物料，所述下物料存储平台两侧还具有下对准夹紧机构用于固定物料。