[发明专利]一种物料输送台结构和物料输送系统及方法

说明书

本发明提出了一种物料输送台结构和物料输送系统及方法，一始终平行于水平面的上平台和始终平行于上平台并且位于上平台的下方的一下平台，用于上载和下载物料；一导轨机构，其所在的直线与上平台和下平台所在的平面皆相交但不垂直，上平台和下平台沿着导轨机构能运动至曝光机上载和下载物料的物料口口部，相对于水平设置的平台结构无需增设垂直装置来改变物料的垂直位置，由于使两个平台沿斜坡向上运动做的功要小于使两个平台垂直上升所做的功，这种输送台结构相对于水平导轨结构能够精简结构，相对于垂直导轨结构对驱动器的功率要求降低，使用包括该物料输送台结构的物料输送系统输送物料的方法，具有精简结构、提高输送效率，节省能耗的优点。

技术领域

本发明涉及半导体光刻领域，特别涉及一种物料输送台结构和物料输送系统及方法。

背景技术

在集成电路制造过程中，一个完整的芯片通常需要经过多次光刻曝光才能制作完成。在光刻作业中，由工件台承载着被曝光对象(一般为玻璃基板)，掩膜台上承载掩膜版，进行光刻。

在光刻产线化作业中，玻璃基板的传输效率对光刻机的产率有着至关重要的影响。但随着玻璃基板的尺寸越来越大，传输设备尺寸也越来越大、重量也越来越重，而为了满足传输效率的要求反而需要设备运行的速度越来越快。因此对驱动器的功率要求也越来越高，设备运行的风险及物料的风险也相应的提高。

为了提高光刻机的产率，提高基板的传输效率有着至关重要的作用，所以要求基板传输系统必须在工件台完成上一块基板的曝光工作后第一时间下载已曝光基板，并第一时间上载第二块未曝光基板，传统的做法是分别制作两个平台，分别用于下载已曝光基板和上载未曝光基板，主要有两种结构：

一是把两个平台整体架设在水平导轨上，驱动器驱动平台及其上的玻璃基板做整体移动。然而此种做法在技术、装配及成本上会有如下问题：

1.由于两个平台采用水平布置，但往往输送未加工物料的送料口与曝光机接收物料的物料口不处于同一个水平面，那么还需要增设垂直装置，将物料输送至与物料口同一水平面；

2.因为玻璃基板质量很大，而大质量运动时会产生很大的惯量，为保证交接精度，对传输设备的刹车机构以及惯量的消除都会有很高的要求；

3.传输物料尺寸越大，则平台水平运动行程越大，而为了满足产率要求，则平台运动速度也越快，相应的传输设备运行风险及物料风险也越大。

二是把两个平台垂直布置，即垂直导轨结构，驱动器驱动平台及平台上的玻璃基板做垂向的整体移动。然而此种做法具有如下问题：

1.由于平台整体质量很大，做垂向运动需要克服很大的垂直方向的重力，对驱动器的功率要求很高；

2.因为大的质量运动时会产生很大的惯量，为保证交接精度，对传输设备的刹车机构及惯量消除都会有很高的要求。

综上所述，有必要发明一种物料输送台结构和物料输送系统及方法，能够克服上述缺点。

发明内容

为解决上述问题，本发明提出了一种物料输送台结构和物料输送系统及方法，将原本垂直设置的两个平台与导轨机构连接，导轨机构与两个平台皆相交但不垂直，使得两个平台皆可运动至曝光机的物料口上载或者下载物料，由于导轨机构与两个平台皆相交但不垂直，因此两个平台初始处于垂直布置，相对于水平设置的平台，其无需增设垂直装置，即可改变物料所在的垂直位置，其次由于两个平台在运动至物料口作上下运动时，是沿导轨机构移动，两个平台皆与水平面平行，那么导轨即是斜边结构，在导轨上作运动相当于使其在斜坡上作运动，而使两个平台沿斜坡向上运动做的功要小于使两个平台垂直上升所做的功，因此这种输送台结构相对于水平导轨结构能够精简结构，相对于垂直布置的平台来说，对驱动器的功率要求降低，则使用包括该物料输送台结构的物料输送系统输送物料的方法，具有精简结构、提高输送效率，节省能耗的优点。

为达到上述目的，本发明提供一种物料输送台结构，包括：