[发明专利]连续掩膜挡板传动装置在审
| 申请号： | 201511033444.6 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105525257A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 郭祖华;葛怀庆;练菊;朱向炜 | 申请（专利权）人： | 蚌埠雷诺真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人： | 张建宏;和聚龙 |
| 地址： | 233010 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连续 挡板 传动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种连续掩膜挡板传动装置，其特征是：包括电机、掩膜挡板、安装支架、 传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内 侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽 口下侧；
传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安 装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上；
电机带动传动组件的螺杆转动。
2.根据权利要求1所述的连续掩膜挡板传动装置，其特征是：
所述传动组件还包括真空磁流体动密封件、联轴器、涡轮和涡杆，螺杆 一端装有涡轮，涡轮与涡杆配合，涡杆通过联轴器与真空磁流体动密封件连 接，真空磁流体动密封件与电机的输出轴连接。
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