[发明专利]连续掩膜挡板传动装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜镀膜用设备，特别涉及一种薄膜连续掩膜挡板传动 装置。

背景技术

薄膜镀膜作业是在真空条件下利用镀膜设备通过不同的镀膜工艺(例如： 物理气相沉积、化学气相沉积等)对工件进行镀膜，但现有薄膜镀膜设备无 法完成对膜厚变化有要求的镀膜作业。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、镀膜效果好的连续掩 膜挡板传动装置。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种连续掩膜挡板传动装置,包括电 机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端 面的镀膜槽口，镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽 内移动，底座放置在镀膜槽口下侧；

传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安 装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上；

电机带动传动组件的螺杆转动。

采用这样的结构后，初始状态下掩膜挡板完全遮挡待镀膜的工件，电机 驱动传动组件带动掩膜挡板移动，使工件逐步暴露在掩膜挡板外，配合外部 镀膜设备对工件持续镀膜，进而达到渐进式镀膜的目的，满足对工件镀膜厚 度的变化要求。

本连续掩膜挡板传动装置允许用户通过手动或自动控制，精确控制掩膜 挡板在镀膜过程中的传动走位，适用于多种镀膜机的工艺开发。

为了更好的理解本发明的技术内容，以下将本连续掩膜挡板传动装置简 称为本传动装置。

本传动装置的传动组件还包括真空磁流体动密封件、联轴器、涡轮和涡 杆，螺杆一端装有涡轮，涡轮与涡杆配合，涡杆通过联轴器与真空磁流体动 密封件连接，真空磁流体动密封件与电机的输出轴连接；采用这样的结构后， 通过真空磁流体动密封件将电机设置在真空作业空间外，可以提高真空作业 空间的使用效率；涡轮和蜗杆可以改变输出轴的方向，便于合理布置位置， 使本装置适用于更多作业场所。

附图说明

图1是本传动装置实施例的主视图。

图2是图1沿A-A方向剖视图。

具体实施方式

如图1至2所示

本传动装置包括电机5、掩膜挡板3、安装支架1、传动组件和底座2。

安装支架1水平放置，安装支架1内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口11， 镀膜槽口11延伸至安装支架1的右端面，镀膜槽口11中部固定有支撑杆12， 支撑杆12两端分别与镀膜槽口11前、后侧壁固定，镀膜槽口11的前、后侧 壁上分别开有左、右走向滑槽13，两条滑槽13的位置对应。

底座2放置在安装支架1下侧，底座2上端面为放置工件6的置物平台， 置物平台对准安装支架1的镀膜槽口11。

掩膜挡板3为长方形板体，掩膜挡板3前、后部分别伸入两个滑槽13内， 并且掩膜挡板3可以沿两个滑槽13的走向左右往复移动。

传动组件包括传动丝杆、真空磁流体动密封件43、联轴器44、涡轮45 和涡杆46，传动丝杆包括螺杆41和螺母42，螺杆41的左端通过轴承支撑在 安装支架1左部，螺杆41的右端通过轴承支撑在安装支架1的支撑杆12上， 螺杆41可以相对安装支架1自用自由转动，螺杆41的放置走向与滑槽13的 走向一致，螺母42与螺杆41配合，并且螺母42与掩膜挡板3下端面固定；

涡轮45安装在螺杆41左端部，涡轮45与涡杆46配合，涡杆46通过联 轴器44与真空磁流体动密封件43连接，真空磁流体动密封件43与电机5的 输出轴连接。

镀膜作业时，将待镀膜的工件6放置在底座2上，掩膜挡板3处于其行 程的最右侧位置，待镀膜的工件6此时完全被掩膜挡板3遮挡，启动外部的 镀膜设备，本转动装置的电机5带动真空磁流体动密封件43转动，经过涡轮 45和涡杆46的传动，进而驱动传动丝杆的螺杆41转动，掩膜挡板3在螺母 42的带动下向左侧缓慢移动，待镀膜的工件6则逐步脱离掩膜挡板3的遮挡， 达到渐进式镀膜的目的；

掩膜挡板3处于其行程的最左侧位置，工件6则暴露在镀膜设备的镀膜 范围内，镀膜作业完毕后，启动电机5反转使掩膜挡板3回到右侧的初始位 置。

本传动装置可以采用以下步骤进行：

1.手动或自动程序精确控制电机5，控制掩膜挡板3从原始的“右侧” 位置向“左侧”位置运动，运动可以是连续，可以是渐进，由手动或自动程 序控制。