[发明专利]玻璃基板融合线两侧玻璃厚度的测量方法及测量设备

权利要求书

1.一种玻璃基板融合线两侧玻璃厚度的测量方法，其特征在于，所述方法包括：

用三坐标测量仪的摄像装置获取玻璃基板断面的图像；

将所述图像数据传输至三坐标测量软件，其中，在获取所述图像时，所述玻璃基板断面 的放置需使得所获取的所述玻璃基板断面的融合线的图像与所述三坐标测量软件中的水 平功能线或垂直功能线平行；

通过所述三坐标测量软件获取所述玻璃基板断面的融合线与所述玻璃基板断面的两 侧边缘线之间的距离。

2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，在获取所述图像时，所述玻璃基板竖 直放置，并使得待测的所述玻璃基板断面朝上。

3.根据权利要求2所述的测量方法，其特征在于，所述玻璃基板的放置具体包括：

将待测玻璃基板竖直固定于样品台上，并将所述样品台放置于载物台上；在获取所述 图像时，微调所述样品台使得所述融合线的图像与所述三坐标测量软件中的水平功能线或 垂直功能线平行。

4.根据权利要求3所述的测量方法，其特征在于，所述样品台上和所述载物台上分别设 置有标记，在将所述样品台放置于所述载物台上时，首先使得所述样品台的标记与所述载 物台的标记对准。

5.一种玻璃基板融合线两侧玻璃厚度的测量设备，其特征在于，所述测量设备包括三 坐标测量仪，所述三坐标测量仪包括能够获取玻璃基板断面图像的摄像装置以及能够根据 所述摄像装置获取的所述玻璃基板断面的图像测量所述玻璃基板断面的融合线与所述玻 璃基板的两侧边缘线之间的距离的三坐标测量软件。

6.根据权利要求5所述的测量设备，其特征在于，所述测量设备还包括能够使得所述玻 璃基板竖直固定以通过所述摄像装置进行摄像的样品台。

7.根据权利要求6所述的测量设备，其特征在于，所述样品台包括底座(1)及固定于所 述底座(1)上的样品架(2)，所述样品架(2)具有用于竖直固定所述玻璃基板的固定平面。

8.根据权利要求7所述的测量设备，其特征在于，所述样品架(2)的所述固定平面上设 置有能够粘结所述玻璃基板的粘结层(3)。

9.根据权利要求7所述的测量设备，其特征在于，所述底座(1)为能够水平放置的第一 板体，样品架(2)为垂直于所述第一板体的第二板体。

10.根据权利要求6所述的测量设备，其特征在于，所述测量设备还包括承载所述样品 台的载物台，所述样品台和所述载物台上分别设置有能够对准的标记。