[实用新型]一种用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统

权利要求书

1.一种用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，其特征在于：包括水泵、三个以上的净化罐、鼓风机、氨水池；

所述各净化罐内部设有空腔，上部设有进水口和出气口，下部设有出水口、进气口和液位开关；

所述三个以上的净化罐依次连接，依气体流动处理方向，第一个净化罐的进气口为与废气管连通的进气口，位于中间的净化罐的进气口与前一个净化罐出气口连通，最后一个净化罐的出气口与所述鼓风机连通；

所述各净化罐的进水口均与水泵连通；各净化罐的空腔顶部设有与进水口连接的喷淋器；

各净化罐上均设有与其对应的液位开关电路连接的电磁阀，各净化罐的出水口均通过各自对应的电磁阀与氨水池密封连接。

2.根据权利要求1所述的用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，其特征在于：所述各净化罐上设有的液位开关为侧装式浮球液位开关，包括接线盒、浮臂和浮球，所述接线盒内设有微动开关，所述浮臂和微动开关上设有互斥的磁铁；所述微动开关和与之对应的电磁阀电路连接。

3.根据权利要求1所述的用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，其特征在于：所述第一个净化罐的进气口通过第二阀门与废气管连通，所述水泵入口设有第一阀门。

4.根据权利要求1所述的用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，其特征在于：所述净化罐上的液位开关的垂直高度低于进气口的垂直高度，出水口的垂直高度低于液位开关的垂直高度。

5.根据权利要求1所述的用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，其特征在于：所述各喷淋器为雾化喷头。

6.根据权利要求3所述的用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，其特征在于：所述第一阀门与第二阀门为旋拧阀。

7.根据权利要求1所述的用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，其特征在于：还包括止回阀，所述止回阀设于最后一个净化罐的出气口与鼓风机之间。

8.根据权利要求1所述的用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，其特征在于：所述各净化罐的出水口和对应的电磁阀之间通过金属管密封连接；所述各电磁阀与氨水池之间通过金属管密封连接。

9.根据权利要求1所述的用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，其特征在于：所述各净化罐的出水口和对应的电磁阀之间通过PVC塑料管密封连接；所述各电磁阀与氨水池之间通过PVC塑料管密封连接。