[实用新型]一种用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统

说明书

技术领域

本实用新型属于气体回收领域，具体涉及一种尾气排放中的氨气回收系统。

背景技术

在LED行业，上游企业最关键的LED外延芯片制造领域中，超纯氨是最主要的物料之一。然而在其LED蓝绿光外延芯片制造中只消耗很小一部分氨，大部分氨将随着H₂排放，造成了很大的浪费。

而且随着人们环保意识的增强，国家对环境排放的要求逐渐提升，LED制造过程中氨气的排放也必须得到控制。

然而现有的气体回收系统都非常的复杂，难以实施来满足LED生产制造过程中的氨气回收需求。因此急需一种结构合理、行之有效、密封性好的针对LED制造过程中的氨气回收系统来解决现有技术中存在的问题。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，以解决LED制造过程中的气体排放造成的氨气浪费和环境污染问题。

技术方案：为解决上述技术问题，本实用新型提供的用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，包括水泵、三个以上的净化罐、鼓风机、氨水池；

所述各净化罐内部设有空腔，上部设有进水口和出气口，下部设有出水口、进气口和液位开关；

所述三个以上的净化罐依次连接，依气体流动处理方向，第一个净化罐的进气口为与废气管连通的进气口，位于中间的净化罐的进气口与前一个净化罐出气口连通，最后一个净化罐的出气口与所述鼓风机连通；

所述各净化罐的进水口均与水泵连通；各净化罐的空腔顶部设有与进水口连接的喷淋器；

各净化罐上均设有与其对应的液位开关电路连接的电磁阀，各净化罐的出水口均通过各自对应的电磁阀与氨水池密封连接。

优选的，所述各净化罐上设有的液位开关为侧装式浮球液位开关，包括接线盒、浮臂和浮球，所述接线盒内设有微动开关，所述浮臂和微动开关上设有互斥的磁铁；所述微动开关和与之对应的电磁阀电路连接。

优选的，所述第一个净化罐的进气口通过第二阀门与废气管连通，所述水泵入口设有第一阀门。

优选的，所述净化罐上的液位开关的垂直高度低于进气口的垂直高度，出水口的垂直高度低于液位开关的垂直高度。

优选的，所述各喷淋器为雾化喷头。在该方案中，雾化喷头可以获得更好的氨气吸收效果。

优选的，所述第一阀门与第二阀门为旋拧阀。

优选的，还包括止回阀，所述止回阀设于最后一个净化罐的出气口与鼓风机之间。该结构可以进一步防止气体倒流，提高系统整体的有效性。

优选的，所述各净化罐的出水口和对应的电磁阀之间通过金属管密封连接；所述各电磁阀与氨水池之间通过金属管密封连接。作为另一种优选，所述各净化罐的出水口和对应的电磁阀之间通过PVC塑料管密封连接；所述各电磁阀与氨水池之间通过PVC塑料管密封连接。因为金属管、PVC塑料管具有耐酸碱性，可延长本系统的使用寿命，且施用灵活，可以根据实际情况灵活调整净化罐与氨水池之间的通路。

有益效果：本实用新型提供的用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，结合净化罐上喷淋器喷洒出的水雾，通过多个串联而成的净化罐形成多级迂回的气体流动通路，形成多级递进的氨气回收系统，用于LED制造所排放尾气中的氨气回收，结构合理，回收率高，行之有效，易于实施。

而且各净化罐上均设有液位开关以及与对应液位开关电路连接的电磁阀，当净化罐下部的氨水水位较低时，可通过该电路连接方案使得电磁阀一直处于关闭状态，直到氨水水位达到液位开关对应的高度，自动触发对应的电磁阀开启，从而使氨水通过管路自行流向氨水池，完成了氨水的收集。在这样的结构下，净化罐中的气体流动通路处于高密封状态，有效避免了氨水池不满、管路破裂等问题带来的氨气泄漏问题，也有效避免了外界气体进入本系统造成的二次污染问题。

总体而言，本实用新型不但解决了LED制造过程中大量氨气随着废气排放带来的浪费问题和环境污染问题，保护了工作人员的人身安全，节约成本，节能环保；更进一步还具备高密封性，进一步降低了氨气泄漏带来的安全隐患和浪费，也有效避免了因不密封导致外部气体进入系统内带来的二次污染问题，提升了本系统氨气回收的效率。

附图说明

图1是实施例1的结构示意图；

图2是实施例2的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作更进一步的说明。