[实用新型]TEM样品支架有效
| 申请号： | 201520019588.5 | 申请日： | 2015-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN204470252U | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 陈卉 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B25H1/00;G01N1/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | tem 样品 支架 | ||
【权利要求书】：
1.一种样品支架，其特征在于，包括：
基座，所述基座中设置有至少一个贯穿正反两面的孔洞；
圆环，所述圆环呈筒状并设置在所述孔洞内，且该圆环的一端还设置有向内径中心延伸的载物台；
托台，固定放置在所述载物台上，用于放置样品。
2.如权利要求1所述的样品支架，其特征在于，所述孔洞内壁设置有内螺纹，所述圆环外壁设置有外螺纹。
3.如权利要求1所述的样品支架，其特征在于，所述托台为金属网或者金属环。
4.如权利要求1所述的样品支架，其特征在于，所述圆环的高度大于所述基座的厚度。
5.如权利要求1所述的样品支架，其特征在于，所述孔洞的直径为2～4mm。
6.如权利要求1所述的样品支架，其特征在于，所述载物台为在所述圆环内径向中心延伸的环状平台，所述环状平台的宽度为3mm。
7.如权利要求1所述的样品支架，其特征在于，所述基座为金属材质。
8.如权利要求7所述的样品支架，其特征在于，所述基座材质为钼、不锈钢或者铝合金。
9.如权利要求1所述的样品支架，其特征在于，所述样品为TEM样品。
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