[实用新型]气场指示片

权利要求书

1.一种气场指示片，其设于一开口或一视窗，该开口或该视窗位于一隔板，该隔板位于一化学湿制程机台的二槽室之间，其特征在于，该气场指示片包含有：

一固定部；以及

一指示部，其具有多数个条状片，各条状片具有一自由端与一固定端，该固定端连接该固定部的一侧；

其中，当二槽室之间产生气流时，该指示部产生一指示偏角。

2.如权利要求1所述的气场指示片，其特征在于，该化学湿制程机台为一纯水喷洒机台、一清洗制程机台、一隔离制程机台、一蚀刻制程机台、一显影制程机台、一剥膜制程机台或一吹干制程机台。

3.如权利要求1所述的气场指示片，其特征在于，二条状片之间具有一第一间距。

4.如权利要求1所述的气场指示片，其特征在于，该条状片具有一第一侧边与一第二侧边，该第一侧边、该第二侧边与该条状片的自由端呈一垂直状。

5.如权利要求1所述的气场指示片，其特征在于，该条状片具有一第一侧边与一第二侧边，该条状片的自由端呈一尖端状。

6.如权利要求1所述的气场指示片，其特征在于，该条状片具有一第一侧边与一第二侧边，该第一侧边与该第二侧边呈一渐缩状，该条状片呈一针状。

7.如权利要求1所述的气场指示片，其特征在于，该气场指示片为一抗腐蚀材质，该抗腐蚀材质为聚四氟乙烯、氟橡胶、聚乙烯醇、聚酯、乙烯-四氟化乙烯共聚物或聚丙烯。

8.如权利要求1所述的气场指示片，其特征在于，该气场指示片的表面涂设有一斥水性涂料层。

9.如权利要求1所述的气场指示片，其特征在于，该固定部设于该开口，该指示部延伸至该开口中。

10.如权利要求1所述的气场指示片，其特征在于，该固定部设于该视窗，该指示部延伸至该视窗中。

11.如权利要求1所述的气场指示片，其特征在于，该机台具有一槽室，该槽室相邻于该指示部的位置处设有至少一个传感器。