[实用新型]气场指示片

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气场指示片，特别是指一种在化学湿制程环境下能呈现气场方向的气场指示片。

背景技术

现有的基板制程中，基板需要进行多道不同的化学湿制程，故基板会于能够提供化学湿制程的各槽室之间移动。多个槽室整合于一机台，各槽室之间具有一隔板。

但化学湿制程特别要求槽室的内部处于一特定气压下，而相邻的二槽室的内部气压可能不同，其一槽室的内部气压有可能大于另一槽室的内部气压。

依据流体的特性，气压大的流体会流向气压较小的位置，因此若如上述内部气压较高的槽室会产生一流向内部气压较小的槽室的气流，该气流会夹带有至少一种化学物质，该化学物质会污染位于内部气压较小的槽室的内部的基板。

因此如何判别气场的流向，以避免基板被化学物质污染，其成为各厂商所研究的项目。现有的作法于各槽室的顶端装设一传感器，以判断气场的流向。然而，传感器因受测环境的不同，如气压、风速、湿度、化学性质的变化，而需要更多辨识侦测的参数，因此导致设传感器结构的复杂化，以及装置维修成本的提高。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种气场指示片。

为了达到上述的目的，本实用新型的目的在于提供一种气场指示片，其设于一开口或一视窗，该开口或该视窗位于一隔板，该隔板位于一化学湿制程机台的二槽室之间，该气场指示片包含有：

一固定部；以及

一指示部，其具有多数个条状片，各条状片具有一自由端与一固定端，该固定端连接该固定部的一侧；

其中，当二槽室之间产生气流时，该指示部产生一指示偏角。

作为优选方案，其中该化学湿制程机台为一纯水喷洒机台、一清洗制程机台、一隔离制程机台、一蚀刻制程机台、一显影制程机台、一剥膜制程机台或一吹干制程机台。

作为优选方案，其中二条状片之间具有一第一间距。

作为优选方案，其中该条状片具有一第一侧边与一第二侧边，该第一侧边、该第二侧边与该条状片的自由端呈一垂直状。

作为优选方案，其中该条状片具有一第一侧边与一第二侧边，该条状片的自由端呈一尖端状。

作为优选方案，其中该条状片具有一第一侧边与一第二侧边，该第一侧边与该第二侧边呈一渐缩状，该条状片呈一针状。

作为优选方案，其中该气场指示片为一抗腐蚀材质，该抗腐蚀材质为聚四氟乙烯、氟橡胶、聚乙烯醇、聚酯、乙烯-四氟化乙烯共聚物或聚丙烯。

作为优选方案，其中该气场指示片的表面涂设有一斥水性涂料层。

作为优选方案，其中该固定部设于该开口，该指示部延伸至该开口中。

作为优选方案，其中该固定部设于该视窗，该指示部延伸至该视窗中。

作为优选方案，其中该机台具有一槽室，该槽室相邻于该指示部的位置处设有至少一个传感器。

本实用新型的气场指示片装设于二槽室之间，当二槽室内部产生有一压差时，一气场会由气压较高的槽室流向气压较小的槽室，通过气场指示片所产生的指示偏角，以得知气流的流向，再经由适当的气流调整，以避免制程中基板受到化学物质的污染；本实用新型的气场指示片的结构较为简易，故具有降低成本的优势。

附图说明

图1为本实用新型的一种气场指示片的第一实施例的立体示意图；

图2为多个提供化学湿制程的机台的俯视剖面示意图；

图3为本实用新型的气场指示片设于一开口的示意图；

图4为本实用新型的气场指示片设于一视窗的示意图；

图5为本实用新型的气场指示片的第二实施例的立体示意图；

图6为本实用新型的气场指示片的第二实施例具有一指示偏角的立体示意图；

图7为本实用新型的气场指示片的第三实施例的立体示意图；

图8为本实用新型的气场指示片的第四实施例的立体示意图；

图9为本实用新型的气场指示片的第五实施例的立体示意图。

【主要组件符号说明】