[实用新型]一种防水晶圆干燥箱

权利要求书

1.一种防水晶圆干燥箱，包括干燥箱体及结合于所述干燥箱体上方的盖体，所述盖体由第一遮罩及第二遮罩组成，其特征在于：

所述第一遮罩顶部还结合有第一防水罩及第二防水罩；

所述第一防水罩固定连接于所述第一遮罩顶部；所述第一防水罩为一面开口结构，且所述第一防水罩的开口面向所述第二遮罩；

所述第二防水罩位于所述第一防水罩下方，并通过转轴连接结构活动连接于所述第一遮罩顶部；当所述第一遮罩及第二遮罩背向运动开启时，所述第二防水罩立起位于所述第一防水罩内部，当所述第一遮罩及第二遮罩相向运动闭合时，所述第二防水罩放倒遮盖住所述第一遮罩及第二遮罩之间的空隙。

2.根据权利要求1所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述第二防水罩由第一侧板及第二侧板弯折连接而成，所述第一侧板与第二侧板形成的夹角为60°～120°。

3.根据权利要求2所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述第一侧板的底部通过转轴连接结构连接于所述第一遮罩。

4.根据权利要求2所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述第一侧板与第二侧板的连接处装设有一气体管道，所述气体管道底部具有一缝隙，气体从该缝隙流出，并分别吹向所述第一侧板表面及第二侧板表面。

5.根据权利要求4所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述气体管道为氮气管道。

6.根据权利要求4所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述气体管道分别与第一电磁阀及第二电磁阀连接；当所述第一电磁阀开启时，所述气体管道为第一气体流量；当所述第二电磁阀开启时，所述气体管道为第二气体流量；所述第一气体流量小于第二气体流量。

7.根据权利要求6所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述第二电磁阀与一时间继电器连接，当所述时间继电器导通时，所述第二电磁阀开启预设时间，并在达到该预设时间后关闭。

8.根据权利要求2所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述第一侧板边缘固定连接有一圆盘，所述圆盘与一气缸的活塞杆轴连接，在所述活塞杆的伸缩运动下带动所述第二防水罩放倒或立起。

9.根据权利要求8所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述气缸与控制所述第一、第二遮罩的电磁阀相连接，随着所述第一、第二遮罩的开启控制所述第二防水罩立起，随着所述第一、第二遮罩的闭合控制所述第二防水罩放倒。

10.根据权利要求8所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述气缸与一针阀连接，所述针阀控制进入所述气缸的流量以调节所述第二防水罩立起及放倒速度。

11.根据权利要求8所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述圆盘的圆心位于所述第一侧板底端。

12.根据权利要求8所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述第一防水罩的一侧面具有与所述圆盘相配合的开口，以为所述圆盘及气缸提供活动空间。

13.根据权利要求2所述的防水晶圆干燥箱，其特征在于：所述第一防水罩底端与所述第一遮罩顶面仅部分连接，其余部分留有空隙，以利于所述第一侧板表面流下的液体从该空隙排出。