[实用新型]关键尺寸测量标记有效

专利信息
申请号: 201520033712.3 申请日: 2015-01-17
公开(公告)号: CN204391103U 公开(公告)日: 2015-06-10
发明(设计)人: 邢滨;张士健 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L23/544 分类号: H01L23/544
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 关键 尺寸 测量 标记
【权利要求书】:

1.一种关键尺寸测量标记,其特征在于,包括两个第一标记和两个第二标记,所述第一标记和第二标记交替分布于一曝光单元的四个顶角处,所述第一标记包括第一子标记和第二子标记,所述第二标记包括第三子标记和第四子标记,所述第一子标记、第二子标记、第三子标记和第四子标记均呈直角折线状,并且,所述第一子标记的弯折处具有缺口。

2.如权利要求1所述的关键尺寸测量标记,其特征在于,所述缺口为正方形缺口。

3.如权利要求2所述的关键尺寸测量标记,其特征在于,所述缺口的边长等于所述第一子标记的宽度。

4.如权利要求2所述的关键尺寸测量标记,其特征在于,所述缺口的边长小于所述第一子标记的宽度。

5.如权利要求1所述的关键尺寸测量标记,其特征在于,所述曝光单元呈正方形。

6.如权利要求1所述的关键尺寸测量标记,其特征在于,所述曝光单元呈长方形。

7.如权利要求5或6所述的关键尺寸测量标记,其特征在于,四个曝光单元相邻顶角处的共两个第一子标记和两个第三子标记组合呈十字形,所述两个第一子标记中的缺口斜对且紧邻。

8.如权利要求5或6所述的关键尺寸测量标记,其特征在于,所述第二子标记和第四子标记呈镜像对称,四个曝光单元相邻顶角处的共两个第二子标记和两个第四子标记组合呈方环形。

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