[实用新型]一种二自由度组合式全闭环纳米级微动平台

权利要求书

1.一种二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，其特征在于：所述二自由度组合式全闭环纳米级微动平台包括X向微动台总成(01)、Y向微动台总成(02)、连接板(04)与底座(05)，

X向微动台总成(01)与Y向微动台总成(02)的结构相同，

X向微动台总成(01)包括定位平台机体(31)、传感器支架(32)、传感器、接线连接器(34)、压电陶瓷(35)与移动台(36)，

定位平台机体(31)顶面开设有腔体，移动台(36)与腔体相配合，移动台(36)底面固接有挡板(37)，定位平台机体(31)与移动台(36)通过柔性铰链(06)连接，压电陶瓷(35)置于移动台(36)底面，传感器支架(32)、挡板(37)与压电陶瓷(35)依次沿移动台(36)移动方向设置，压电陶瓷(35)的伸缩方向与移动台(36)的移动方向相一致，压电陶瓷(35)的一端与挡板(37)贴合，压电陶瓷(35)的另一端与腔体侧壁贴合，

传感器支架(32)为Z形支架，传感器设置于传感器支架(32)内，传感器的两个触点分别设置于传感器支架(32)的两端，传感器支架(32)的一端与挡板(37)连接，传感器支架(32)的另一端与定位平台机体(31)连接，接线连接器(34)设置于定位平台机体(31)的外侧壁，

Y向微动台总成(02)、连接板(04)、X向微动台总成(01)与底座(05)由上至下依次可拆卸连接，Y向微动台总成(02)的移动台(36)的移动方向与X向微动台总成(01)的移动台(36)的移动方向相垂直。

2.根据权利要求1所述的二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，其特征在于：定位平台机体(31)为水平放置的方形平台机体，移动台(36)为水平放置的方形台，移动台(36)的侧壁沿竖直方向开设有凹槽(38)，定位平台机体(31)的腔体侧壁固接有凸台(39)，凸台(39)与凹槽(38)相配合，压电陶瓷(35)的所述另一端与凸台(39)相贴合，移动台(36)顶面固接有方形盖板，方形盖板尺寸与移动台(36)顶面尺寸一致。

3.根据权利要求2所述的二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，其特征在于：连接板(04)为方形板，X向微动台总成(01)的移动台(36)与连接板(04)通过螺纹连接件可拆卸连接，Y向微动台总成(02)的定位平台机体(31)四角处与连接板(04)通过螺纹连接件可拆卸连接。

4.根据权利要求3所述的二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，其特征在于：柔性铰链(06)包括四个连接臂(61)，四个连接臂(61)将移动台(36)的四边与定位平台机体(31)相连接，四条长条形通槽(62)依次沿移动台(36)的边檐开设于四个连接臂(61)上，相邻的长条形通槽(62)的两端于移动台(36)的直角处相互平行叠加设置。

5.根据权利要求4所述的二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，其特征在于：压电陶瓷(35)为水平设置的长方体，压电陶瓷(35)的长边沿移动台(36)的移动方向设置。

6.根据权利要求5所述的二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，其特征在于：传感器支架(32)包括两个水平臂(71)与一个竖直板(72)，竖直板(72)的顶端与一个水平臂(71)固接，竖直板(72)的底端与另一个水平臂(71)固接，每个水平臂(71)开设有若干个螺纹孔(73)。

7.根据权利要求6所述的二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，其特征在于：腔体为通腔且沿竖直方向开设，移动台(36)设置于腔体顶部，腔体底面设有底板(74)，底板(74)与定位平台机体(31)可拆卸连接。

8.根据权利要求7所述的二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，其特征在于：定位平台机体(31)的侧壁固接有侧板(75)，侧板(75)与传感器支架(32)正对设置。