[实用新型]一种二自由度组合式全闭环纳米级微动平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种平面二自由度纳米级微动平台。

背景技术

现有的二自由度纳米级微动台分为一体式和分体式两种，一体式微动平台工作在一个平面内完成两个方向的位移输出，一体微动台需要二个方向的解耦运算，控制复杂，输出精度低，两个方向的位移输出相互有影响，特别在输出位移极小的情况下比较严重；

另一种为分体式结构，两个方向输出独立，由中间板连接，控制简单，输出精度高，但体积大，安装驱动元件复杂；

放大结构二自由度纳米级微动台外形体积大，承载能力小、位移方向刚度相对较低，工作台位移垂直方向存在偏转角度，在输出大位移和承载较重负载时，位移精度不够稳定、工作台频率响应低、稳定时间过长、作闭环控制时，由于传感器输出线、压电陶瓷电压驱动线的安装位置受影响，给工作台安装和调试带来困难，从而使微动平台的输出位移分辨率和位移精度也受到很大影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，以解决现有的平面二自由度纳米级微动平台存在结构复杂、输出精度低、工作台移动精度不稳定、装置体积大的问题。

本实用新型为解决上述问题采取的技术方案是：本实用新型的所述二自由度组合式全闭环纳米级微动平台包括X向微动台总成、Y向微动台总成、连接板与底座，

X向微动台总成与Y向微动台总成的结构相同，

X向微动台总成包括定位平台机体、传感器支架、传感器、接线连接器、压电陶瓷与移动台，

定位平台机体顶面开设有腔体，移动台与腔体相配合，移动台底面固接有挡板，定位平台机体与移动台通过柔性铰链连接，压电陶瓷置于移动台底面，传感器支架、挡板与压电陶瓷依次沿移动台移动方向设置，压电陶瓷的伸缩方向与移动台的移动方向相一致，压电陶瓷的一端与挡板贴合，压电陶瓷的另一端与腔体侧壁贴合，

传感器支架为Z形支架，传感器设置于传感器支架内，传感器的两个触点分别设置于传感器支架的两端，传感器支架的一端与挡板连接，传感器支架的另一端与定位平台机体连接，接线连接器设置于定位平台机体的外侧壁，

Y向微动台总成、连接板、X向微动台总成与底座由上至下依次可拆卸连接，Y向微动台总成的移动台的移动方向与X向微动台总成的移动台的移动方向相垂直。

本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：

1、现有技术中的微动平台是将电压和传感器接线直接连接于平台内，然后甩出相应连接线至微动平台外，这样操作不便微动平台的连线，不便于电压和传感器接线安装，而本实用新型的两个接线连接器34分别设置于X向微动台总成01与Y向微动台总成02上，便于电压和传感器接线的连接安装。

2、传感器支架32、传感器触点设置及压电陶瓷35构成了全闭环回路，传感器的两个触点时时反馈压电陶瓷35的伸缩长度，从而提高了X向移动台36及Y向移动台36的移动精度。

3、本实用新型的微动台结构简单，便于组装。

使用本实用新型的微动平台以后，输出精度相对现有技术提高45％。

附图说明

图1是本实用新型的轴测图，图2是本实用新型的局部剖视主视图，图3是图2的局部剖视俯视图，图4是图2的局部剖视左视图，图5是传感器支架的主视图，图6是图5的剖视左视图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1至图6说明，本实施方式的所述二自由度组合式全闭环纳米级微动平台包括X向微动台总成01、Y向微动台总成02、连接板04与底座05，

X向微动台总成01与Y向微动台总成02的结构相同，

X向微动台总成01包括定位平台机体31、传感器支架32、传感器、接线连接器34、压电陶瓷35与移动台36，

定位平台机体31顶面开设有腔体，移动台36与腔体相配合，移动台36底面固接有挡板37，定位平台机体31与移动台36通过柔性铰链06连接，压电陶瓷35置于移动台36底面，传感器支架32、挡板37与压电陶瓷35依次沿移动台36移动方向设置，压电陶瓷35的伸缩方向与移动台36的移动方向相一致，压电陶瓷35的一端与挡板37贴合，压电陶瓷35的另一端与腔体侧壁贴合，

传感器支架32为Z形支架，传感器设置于传感器支架32内，传感器的两个触点分别设置于传感器支架32的两端，传感器支架32的一端与挡板37连接，传感器支架32的另一端与定位平台机体31连接，接线连接器34设置于定位平台机体31的外侧壁，