[实用新型]曝光用的定位夹具及其曝光机

权利要求书

1.曝光用的定位夹具，包括上玻璃和下玻璃，上玻璃设有上菲林，下玻璃设有下菲林，上菲林与下菲林大小一致，其特征在于，所述上玻璃上固定有多于一个母销钉，下玻璃固定有对应所述母销钉的公销钉，公销钉的外径等于母销钉的孔内径；进行曝光时，公销钉插入母销钉的孔内，上菲林与下菲林重合，上玻璃与下玻璃将工件夹紧固定，工件位于上菲林与下菲林之间。

2.一种曝光机，包括机台，其特征在于，还包括权利要求1所述的定位夹具，上玻璃放置于一上框上，上框固定于机台上，机台内设有承载组件，下玻璃放置于承载组件上；机台内还设有用于驱动下玻璃在上玻璃下方上下运动的垂直驱动组件。

3.如权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述承载组件包括下框和支撑板，下框两侧固定有支撑条，支撑条和下框可相对支撑板上下运动，所述下玻璃放置于下框上。

4.如权利要求3所述的曝光机，其特征在于，所述下框上设有内密封环和外密封环，下玻璃下表面与内密封环接触，下框的外密封环与内密封环之间设有与外部真空泵连通的用于抽真空的气孔；在进行曝光时，外密封环与上玻璃下表面接触，上玻璃、下玻璃、内密封环、下框和外密封环之间围成一空腔，空腔被抽真空而形成负压，上玻璃与下玻璃在外界大气压力的作用下夹紧工件。

5.如权利要求3所述的曝光机，其特征在于，所述下玻璃下方设有用于固定下玻璃的真空吸盘。

6.如权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述垂直驱动组件包括丝杠、用于驱动丝杠转动的丝杠电机以及用于驱动下玻璃上下运动的顶杆，顶杆下端固定在一水平板上，丝杠的螺母固定在水平板上；丝杠电机带动丝杠转动时，丝杠的螺母带动水平板和顶杆上下运动。

7.如权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述垂直驱动组件还包括固定在机台内的顶板，顶板上固定有导杆，导杆贯穿水平板，顶杆贯穿顶板。

8.如权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述丝杠多于1个，丝杠电机通过一同步带驱动不同的丝杠同步转动。

9.如权利要求2所述的曝光机，其特征在于，还包括用于承载组件和下玻璃在水平方向往复运动的水平驱动组件，所述水平驱动组件包括水平电机和皮带，皮带套在两个皮带轮上，其中一个皮带轮与水平电机输出轴同步转动，承载组件通过一连接臂固定连接皮带。