[实用新型]曝光用的定位夹具及其曝光机

说明书

技术领域

本实用新型涉及曝光设备，尤其涉及一种曝光用的定位夹具及其曝光机。

背景技术

目前行业基本使用手动曝光机或半自动曝光机，使用手动曝光机时,人工对片对位精度不稳定。采用一般摄像头对位装置的半自动曝光机对位精度偏差大(≥±0.02mm)。采用高精度摄像头对位装置(≤±0.01mm)的自动曝光机价格又太高。此瓶颈在很大程度上制约了国内精密产品的批量制作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于为克服现有技术的缺陷，而提供一种曝光用的定位夹具及其曝光机，以提供低成本而精度高的对位方式。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

曝光用的定位夹具，包括上玻璃和下玻璃，上玻璃设有上菲林，下玻璃设有下菲林，上菲林与下菲林图案一致，上玻璃上固定有多于一个母销钉，下玻璃固定有对应母销钉的公销钉，公销钉的外径等于母销钉的孔内径；进行曝光时，公销钉插入母销钉的孔内，上菲林与下菲林重合，上玻璃与下玻璃将工件夹紧固定，工件位于上菲林与下菲林之间。

本实用新型还公开了一种曝光机，包括机台以及上述的定位夹具，上玻璃放置于一上框上，上框固定于机台上，机台内设有承载组件，下玻璃放置于承载组件上；机台内还设有用于驱动下玻璃在上玻璃下方上下运动的垂直驱动组件。

进一步地，承载组件包括下框和支撑板，下框两侧固定有支撑条，支撑条和下框可相对支撑板上下运动，下玻璃放置于下框上。

进一步地，下框上设有内密封环和外密封环，下玻璃下表面与内密封环接触，下框的外密封环与内密封环之间设有与外部真空泵连通的用于抽真空的气孔；在进行曝光时，外密封环与上玻璃下表面接触，上玻璃、下玻璃、内密封环、下框和外密封环之间围成一空腔，空腔被抽真空而形成负压，上玻璃与下玻璃在外界大气压力的作用下夹紧工件。

进一步地，下玻璃下方设有用于固定下玻璃的真空吸盘。

进一步地，垂直驱动组件包括丝杠、用于驱动丝杠转动的丝杠电机以及用于驱动下玻璃上下运动的顶杆，顶杆下端固定在一水平板上，丝杠的螺母固定在水平板上；丝杠电机带动丝杠转动时，丝杠的螺母带动水平板和顶杆上下运动。

进一步地，垂直驱动组件还包括固定在机台内的顶板，顶板上固定有导杆，导杆贯穿水平板，顶杆贯穿顶板。

进一步地，丝杠多于1个，丝杠电机通过一同步带驱动不同的丝杠同步转动。

进一步地，曝光机还包括用于承载组件和下玻璃在水平方向往复运动的水平驱动组件，水平驱动组件包括水平电机和皮带，皮带套在两个皮带轮上，其中一个皮带轮与水平电机输出轴同步转动，承载组件通过一连接臂固定连接皮带。

本实用新型与现有技术相比的有益效果是：

本实用新型通过公销钉和母销钉实现对位，公销钉与母销钉准确插合时上下菲林则准确对位，整个对位结构不需要昂贵的摄像机，达到了成本低精度高的效果。

附图说明

图1为上玻璃与下玻璃立体图；

图2为下玻璃相对于上玻璃的移动示意图；

图3为上玻璃、母销钉、下玻璃、公销钉的装配剖视图；

图4为上玻璃与下玻璃夹紧时局部剖视图；

图5为下玻璃与承载组件的装配立体图；

图6为垂直驱动组件的丝杠与顶杆连接示意图；

图7为垂直驱动组件的丝杠电机与丝杠连接示意图；

图8为水平驱动组件俯视示意图。

具体实施方式

为了更充分理解本实用新型的技术内容，下面结合具体实施例对本实用新型的技术方案作进一步介绍和说明。

本实用新型实施例的具体结构如图1至图8所示。

曝光用的定位夹具包括上玻璃10和下玻璃20。上玻璃10设有上菲林11，下玻璃20设有下菲林21。上菲林11与下菲林21图案一致，上玻璃10上固定有2个母销钉12，下玻璃20固定有对应母销钉12的公销钉22，公销钉22的外径等于母销钉12的孔内径。

在制作公销钉22和母销钉12时，公销钉22与母销钉12的定位精度控制在±0.005mm之内。进行曝光时，公销钉22插入母销钉12的孔内，上菲林11与下菲林21重合(重合精度控制在±0.01mm之内)，上玻璃10与下玻璃20将工件夹紧固定，工件位于上菲林11与下菲林21之间。