[实用新型]蚀刻液蚀刻能力检测装置有效

专利信息
申请号: 201520093277.3 申请日: 2015-02-10
公开(公告)号: CN204439493U 公开(公告)日: 2015-07-01
发明(设计)人: 周锋;魏春生;张元龙 申请(专利权)人: 山东华芯富创电子科技有限公司
主分类号: G01N9/36 分类号: G01N9/36
代理公司: 济南泉城专利商标事务所 37218 代理人: 纪艳艳
地址: 250102 山东省济南市*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 蚀刻 能力 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种蚀刻液蚀刻能力检测装置,其特征在于:包括蚀刻液存储容器,蚀刻液存储容器外部连接与其内部相通的侧U形管,侧U形管为耐腐蚀透明管,侧U形管内部安装有测量蚀刻液比重的比重计。

2.根据权利要求1所述蚀刻液蚀刻能力检测装置,其特征在于:侧U形管包括上、下横向部分和位于二者之间的竖向部分,竖向部分与上、下横向部分均可拆卸连接有阀门,比重计位于竖向部分。

3.根据权利要求1或2所述蚀刻液蚀刻能力检测装置,其特征在于:其还包括摄像头、图形处理装置和显示装置,摄像头对应比重计,摄像头经数据线与图形处理装置输入端连接,图形处理装置输出端连接显示装置,用以显示蚀刻液比重。

4.根据权利要求1或2所述蚀刻液蚀刻能力检测装置,其特征在于:其还包括微处理控制器和显示器,微处理控制器具有信号转换器和放大器,微处理控制器输入端连接比重计探头,微处理控制器输出端连接控制阀,控制阀安装在与蚀刻液存储容器连通的注水管上,显示器和微处理控制器连接。

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