[实用新型]蚀刻液蚀刻能力检测装置

说明书

技术领域

    本实用新型涉及检测装置技术领域，具体涉及一种蚀刻液蚀刻能力检测装置，测量蚀刻液的浓度，监控蚀刻液的蚀刻强度；可用于需要使用蚀刻液作为蚀刻源的各行业，也可用于同类工艺的蚀刻液测量。

背景技术

王水是一种腐蚀性非常强，冒黄色雾的液体，是浓盐酸（HCL）和浓硝酸（HNON3）组合的混合物，其混合比例3:1,一般用在蚀刻工艺和一些检测分析工程中。

工业使用王水时会用纯水调配一定浓度的混和液以固化王水的蚀刻能力，但实际生产中会因为王水损耗而使蚀刻能力降低，故需要监控王水的蚀刻能力，传统方式是滴定测量H粒子浓度。

若用全自动测量设备则购买成本高，且设备精密维修成本也高，需要反应时间；若用人工滴定测量，需要专业的人员培训，并且取液很危险（要接触王水），王水易挥发对人体有伤害。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种成本低且安全实用的蚀刻液蚀刻能力检测装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用技术方案如下：

一种蚀刻液蚀刻能力检测装置，包括蚀刻液存储容器，蚀刻液存储容器外部连接与其内部相通的侧U形管，侧U形管为耐腐蚀透明管，侧U形管内部安装有测量蚀刻液比重的比重计。

上述蚀刻液蚀刻能力检测装置中，侧U形管包括上、下横向部分和位于二者之间的竖向部分，竖向部分与上、下横向部分均可拆卸连接有阀门，比重计位于竖向部分。

上述蚀刻液蚀刻能力检测装置中优选方案，其还包括摄像头、图形处理装置和显示装置，摄像头对应比重计，摄像头经数据线与图形处理装置输入端连接，图形处理装置输出端连接显示装置，用以显示蚀刻液比重。

上述蚀刻液蚀刻能力检测装置中另一优选方案，其还包括微处理控制器和显示器，微处理控制器具有信号转换器和放大器，微处理控制器输入端连接比重计探头，微处理控制器输出端连接控制阀，控制阀安装在与蚀刻液存储容器连通的注水管上，显示器和微处理控制器连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型利用混合液的比重值和蚀刻液的含量浓度呈正比线性关系，通过测量蚀刻液混合液比重来控制蚀刻液混合液的蚀刻强度，也可通过记录蚀刻液比重建立比重和浓度对应参数表；整体结构简单，成本低；不需要接触蚀刻液，安全实用。

附图说明

图1为实施例1结构示意图。

图2为实施例2结构示意图。

图中1、蚀刻液存储容器，1-1、注水管，1-2、控制阀， 2、侧U形管，3、阀门，4、比重计，5、微处理控制器，51、信号转换器，52、放大器，6、竖向部分，7、显示器。 

具体实施方式

以下配合说明书附图对本实用新型的实施方式做更详细的说明，以使本技术领域的人员在研读本说明后能据以实施。

实施例1

一种蚀刻液蚀刻能力检测装置，包括蚀刻液存储容器1、微处理控制器和显示器；蚀刻液存储容器1外部连接与其内部相通的侧U形管2，侧U形管2为耐腐蚀透明管，侧U形管2内部安装有测量蚀刻液比重的比重计；微处理控制器5具有信号转换器51和放大器52，微处理控制器5输入端连接比重计4探头，微处理控制器5输出端连接控制阀1-2，控制阀1-2安装在与蚀刻液存储容器1连通的注水管1-1上；显示器7和微处理控制器5连接。

本实施例中，侧U形管2包括上、下横向部分和位于二者之间的竖向部分6，竖向部分6与上、下横向部分均可拆卸连接有阀门3，比重计4位于竖向部分6。

实施例2

与实施例1区别之处在于：本实施例没有微处理控制器和显示器，但是还包括摄像头10、图形处理装置8和显示装置9，摄像头10对应比重计4，摄像头10经数据线与图形处理装置8输入端连接，图形处理装置8输出端连接显示装置9，用以显示蚀刻液比重。

以上仅描述了本实用新型的基本原理和优选实施方式，本领域人员可以根据上述描述作出许多变化和改进，这些变化和改进应该属于本实用新型的保护范围。