[实用新型]测试板装置及测试系统有效

专利信息
申请号: 201520100596.2 申请日: 2015-02-11
公开(公告)号: CN204422717U 公开(公告)日: 2015-06-24
发明(设计)人: 邹春梅;程波 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28;G01R1/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 测试 装置 系统
【权利要求书】:

1.一种测试板装置,用于将具有多个测试结构的待测芯片连接至具有多个测试通道的测试机中进行测试,其特征在于,所述测试板装置包括:第一引脚、第二引脚及连接在所述第一引脚和第二引脚之间的电路切换单元,所述电路切换单元包括切换开关和切换继电器,所述切换开关连接在所述第一引脚和第二引脚之间,所述切换继电器与所述测试机连接,并控制所述切换开关在一个测试通道中的多个测试结构之间进行切换。

2.如权利要求1所述的测试板装置,其特征在于,还包括与所述切换开关连接的静电保护单元,所述静电保护单元设置于所述第一引脚及第二引脚之间。

3.如权利要求2所述的测试板装置,其特征在于,所述静电保护单元为限流电阻,所述限流电阻的一端连接在所述第一引脚及第二引脚之间,所述限流电阻的另一端接地。

4.如权利要求1所述的测试板装置,其特征在于,所述电路切换单元包括若干个切换开关和切换继电器,一个测试通道对应三个切换开关和三个切换继电器,所述三个切换开关分别为第一开关、第二开关和第三开关,所述三个切换继电器分别为第一继电器、第二继电器和第三继电器,所述第一继电器控制第一开关,所述第二继电器控制第二开关,所述第三继电器控制第三开关。

5.如权利要求4所述的测试板装置,其特征在于,所述测试机的一个测试通道通过总控制回路、第一控制回路、第二控制回路、第一支路、第二支路、第三支路及第四支路连接所述待测芯片的四个测试结构,其中,四个测试结构分别连接所述第一支路、第二支路、第三支路及第四支路,连接在所述总控制回路中的第一开关在第一控制回路和第二控制回路之间切换以选择第一控制回路或第二控制回路与总控制回路连接,连接在所述第一控制回路中的第二开关在第一支路和第二支路之间切换以选择第一支路或第二支路与第一控制回路连接,连接在所述第二控制回路中的第三开关在第三支路及第四支路之间切换以选择第三支路或第四支路与第二控制回路连接,所述第一开关、第二开关和第三开关分别由三个切换继电器控制。

6.一种测试系统,其特征在于,包括:测试板装置及具有多个测试通道的测试机,所述测试板装置用于将一具有多个测试结构的待测芯片连接至测试机 中进行测试,所述测试板装置包括第一引脚、第二引脚及连接在所述第一引脚和第二引脚之间的电路切换单元,所述第一引脚连接所述测试通道,所述第二引脚连接所述测试结构,所述电路切换单元包括切换开关和切换继电器,所述切换开关连接在所述第一引脚和第二引脚之间,所述切换继电器与所述测试机连接,并控制所述切换开关在一个测试通道中的多个测试结构之间进行切换。

7.如权利要求6所述的测试系统,其特征在于,所述测试板装置还包括与所述切换开关连接的静电保护单元,所述静电保护单元设置于所述第一引脚及第二引脚之间。

8.如权利要求7所述的测试系统,其特征在于,所述静电保护单元为限流电阻,所述限流电阻的一端连接在所述第一引脚及第二引脚之间,所述限流电阻的另一端接地。

9.如权利要求6所述的测试系统,其特征在于,所述电路切换单元包括若干个切换开关和切换继电器,一个测试通道对应三个切换开关和三个切换继电器,所述三个切换开关分别为第一开关、第二开关和第三开关,所述三个切换继电器分别为第一继电器、第二继电器和第三继电器,所述第一继电器控制第一开关,所述第二继电器控制第二开关,所述第三继电器控制第三开关。

10.如权利要求9所述的测试系统,其特征在于,所述测试机的一个测试通道通过总控制回路、第一控制回路、第二控制回路、第一支路、第二支路、第三支路及第四支路连接所述待测芯片的四个测试结构,其中,四个测试结构分别连接所述第一支路、第二支路、第三支路及第四支路,连接在所述总控制回路中的第一开关在第一控制回路和第二控制回路之间切换以选择第一控制回路或第二控制回路与总控制回路连接,连接在所述第一控制回路中的第二开关在第一支路和第二支路之间切换以选择第一支路或第二支路与第一控制回路连接,连接在所述第二控制回路中的第三开关在第三支路及第四支路之间切换以选择第三支路或第四支路与第二控制回路连接,所述第一开关、第二开关和第三开关分别由三个切换继电器控制。

11.如权利要求6所述的测试系统,其特征在于,所述测试通道的个数为128个。

12.如权利要求11所述的测试系统,其特征在于,每一个测试通道对应一 个SRAM和三个测试单元。

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