[实用新型]弹性悬挂式吸盘及吸盘组结构有效
申请号: | 201520109367.7 | 申请日: | 2015-02-13 |
公开(公告)号: | CN204529978U | 公开(公告)日: | 2015-08-05 |
发明(设计)人: | 朱光;孟东方 | 申请(专利权)人: | 深圳光远智能装备股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 广东知恒律师事务所 44342 | 代理人: | 柴吉峰 |
地址: | 518101 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 悬挂 吸盘 结构 | ||
1.弹性悬挂式吸盘,其特征在于,包括:基板、吸嘴及至少两根弹性连接件,吸嘴的开口方向与基板平面保持垂直,基板上开设有用于容置吸嘴和弹性连接件的容置区,每个弹性连接件的一端连接吸嘴,弹性连接件另一端连接容置区的内壁,吸嘴在基板平面上受到各弹性连接件的圆周向外的力保持平衡。
2.如权利要求1所述的弹性悬挂式吸盘,其特征在于,还包括连接于吸嘴上的真空吸管。
3.如权利要求2所述的弹性悬挂式吸盘,其特征在于,容置区向基板尾部延伸有用于容置真空吸管的容置槽。
4.如权利要求1所述的弹性悬挂式吸盘,其特征在于,所述弹性连接件为弹簧。
5.如权利要求4所述的弹性悬挂式吸盘,其特征在于,吸嘴两侧分别对称设有两根弹簧。
6.如权利要求1所述的弹性悬挂式吸盘,其特征在于,基板上容置区和吸嘴的数量分别为3,且容置区呈三角分布,每个吸嘴通过至少两个弹性连接件连接对应的容置区内壁。
7.吸盘组结构,其特征在于,包括一个基座,基座上层叠地设置有如上述权利要求1至6中任意一项所述的弹性悬挂式吸盘。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的