[实用新型]一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的下加热区机构有效

专利信息
申请号: 201520109445.3 申请日: 2015-02-13
公开(公告)号: CN204608144U 公开(公告)日: 2015-09-02
发明(设计)人: 孔令杰;吴克松;丁玉林 申请(专利权)人: 安徽贝意克设备技术有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230088 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 可调 化合物 蒸发 镀膜 红外 真空 装置 加热 机构
【权利要求书】:

1.一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的下加热区机构,其特征在于:包括有热区托盘,所述的热区托盘上方设有下加热区底座,所述的下加热区底座与热区托盘通过卡扣卡合连接,所述的下加热区底座内部设有云母片,所述的云母片上方设有多根红外加热管,所述的红外加热管两侧连接有多根红外加热管连接棒,所述的红外加热管连接棒穿过接线排上的通孔,所述的接线排固定在下加热区底座的底部两侧,所述的红外加热管的上方设有灯管压片,所述的灯管压片上方设有缓释片,所述的缓释片上设有压板。

2.根据权利要求1所述的一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的下加热区机构,其特征在于:所述的压板为石英压板,所述的压板为方形空心连接件,所述的压板的一侧边上部开设有凹槽。

3.根据权利要求1所述的一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的下加热区机构,其特征在于:所述的热区托盘为工形连接件,所述的热区托盘的底部为四角开设有连接孔的方形板,所述的方形板上设有圆柱型连接件,所述的圆柱形连接件上方连接连接板,所述的连接板的中部开设有圆孔,连接板两侧连接有凹形件,所述的连接板的主视方向结构为凹形结构。

4.根据权利要求1所述的一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的下加热区机构,其特征在于:所述的下加热区底座为方形框架,所述的下加热区底座的两侧底部分别设有固定件,所述的下加热区底座上的固定件与热区托盘通过卡扣卡合连接,所述的下加热区底座内侧底部两端分别设有上端带有齿状的支撑块,两相邻齿状之间设有通孔。

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