[实用新型]一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的下加热区机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及化合物蒸发镀膜设备技术领域，具体的说涉及一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的下加热区机构。

背景技术

现有化合物蒸发镀膜设备大都采用电阻丝加热，由于电阻丝本身具有热惯性大且升降温速率慢的特性，使得其温度上限很低，限制了化合物蒸发镀膜设备的使用范围，并且电阻丝具有温度反应敏度低、缠绕复杂等问题，要占用化合物蒸发镀膜设备的大量真空腔空间，而且现有化合物蒸发镀膜设备加热区区间位置固定，对不同化合物的加热需要不同的加热温度，而加热设备区间位置固定对不同化合物加热会造成加热效果差，且增大了能耗。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的下加热区机构，其结构独特简单，能够实现单独控制，其快速升降温度，加热效果好，降低能耗。

为了解决背景技术所存在的问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的下加热区机构，所述的下加热区机构包括有热区托盘，所述的热区托盘上方设有下加热区底座，所述的下加热区底座与热区托盘通过卡扣卡合连接，所述的下加热区底座内部设有云母片，所述的云母片上方设有多根红外加热管，所述的红外加热管两侧连接有多根红外加热管连接棒，所述的红外加热管连接棒穿过接线排上的通孔，所述的接线排固定在下加热区底座的底部两侧，所述的红外加热管的上方设有灯管压片，所述的灯管压片上方设有缓释片，所述的缓释片上设有压板。

所述的压板为石英压板，所述的压板为方形空心连接件，所述的压板的一侧边上部开设有凹槽，用于与装置连接。

所述的热区托盘为工形连接件，所述的热区托盘的底部为四角开设有连接孔的方形板，所述的方形板上设有圆柱型连接件，所述的圆柱形连接件上方连接连接板，所述的连接板的中部开设有圆孔，连接板两侧连接有凹形件，所述的连接板的主视方向结构为凹形结构。

所述的下加热区底座为方形框架，所述的下加热区底座的两侧底部分别设有固定件，所述的下加热区底座上的固定件与热区托盘通过卡扣卡合连接，使得下加热区底座固定在热区托盘上，所述的下加热区底座内侧底部两端分别设有上端带有齿状的支撑块，两相邻齿状之间设有通孔，可使得红外加热管连接棒穿过下加热区底座与接线排连接。

本实用新型有益效果：本实用新型其结构独特简单，能够实现单独控制，其快速升降温度，加热效果好，降低损耗，提高加热效率。

附图说明

图1为实用新型结构示意图；

图2为本实用新型平面结构示意图。

具体实施方式

参见附图，一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的下加热区机构，所述的下加热区机构包括有热区托盘1，所述的热区托盘1上方设有下加热区底座2，所述的下加热区底座2与热区托盘1通过卡扣3卡合连接，所述的下加热区底座2内部设有云母片16，所述的云母片3上方设有多根红外加热管4，所述的红外加热管4两侧连接有多根红外加热管连接棒5，所述的红外加热管连接棒5穿过接线排6上的通孔，所述的接线排6固定在下加热区底座2的底部两侧，所述的红外加热管4的上方设有灯管压片7，所述的灯管压片7上方设有缓释片8，所述的缓释片8上设有压板9。

所述的压板9为石英压板，所述的压板9为方形空心连接件，所述的压板9的一侧边上部开设有凹槽10，用于与装置连接。

所述的热区托盘1为工形连接件，所述的热区托盘1的底部为四角开设有连接孔11的方形板，所述的方形板上设有圆柱型连接件12，所述的圆柱形连接件12上方连接连接板13，所述的连接板13的中部开设有圆孔14，连接板13两侧连接有凹形件15，所述的连接板13的主视方向结构为凹形结构。

所述的下加热区底座2为方形框架，所述的下加热区底座2的两侧底部分别设有固定件21，所述的下加热区底座2上的固定件21与热区托盘1通过卡扣3卡合连接，使得下加热区底座2固定在热区托盘1上，所述的下加热区底座2内侧底部两端分别设有上端带有齿状的支撑块22，两相邻齿状之间设有通孔23，可使得红外加热管连接棒5穿过下加热区底座2与接线排6连接。