[实用新型]一种测试结构有效
| 申请号： | 201520113253.X | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN204391104U | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 陈灿;宋永梁;单文光 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测试 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种测试结构，其特征在于，所述测试结构至少包括：
第一梳齿结构、第二梳齿结构以及蛇形结构；
所述第一梳齿结构包括多根相对穿插设置的第一金属梳齿，各第一金属梳齿通过第一金属连线连接到第一端口；
所述第二梳齿结构包括多根相对穿插设置的第二金属梳齿，各第二金属梳齿与各第一金属梳齿穿插分布，各第二金属梳齿通过第二金属连线连接到第二端口；
所述蛇形结构位于相互穿插的所述第一梳齿结构及所述第二梳齿结构之间，且通过多段第三金属连线与第三端口连接。
2.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于：所述第一梳齿结构、所述第二梳齿结构及所述蛇形结构由层间电介质隔开。
3.根据权利要求2所述的测试结构，其特征在于：所述层间电介质的材料为二氧化硅。
4.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于：所述第一金属梳齿、所述第二金属梳齿及所述蛇形结构位于同一平面，且互不接触。
5.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于：所述第三金属连线位于所述蛇形结构的上层，通过中间的通孔实现连接。
6.根据权利要求5所述的测试结构，其特征在于：所述通孔位于所述蛇形结构转向的短边上，且均匀分布。
7.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于：所述第一金属梳齿、所述第二金属梳齿及所述蛇形结构等间距设置。
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