[实用新型]蚀刻液浓度检测药剂的储存装置

权利要求书

1.一种蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，包括储存检测药剂的内桶及罩于所述内桶外的保护外壳，所述检测药剂用于检测蚀刻液的浓度，其特征在于：所述保护外壳的侧壁上开设有抽气孔与进气孔，所述抽气孔与抽气装置相连所述保护外壳于所述进气孔所在的侧壁上设置有加强板。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，其特征在于：所述抽气孔的开口位置位于所述保护外壳的侧壁的上部，所述进气孔的开口位置位于所述保护外壳与所述抽气孔相对侧的另一侧壁的下部。

3.根据权利要求1所述的蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，其特征在于：所述加强板上形成有与所述进气孔形状相同的豁口，所述加强板在所述进气孔的周边位置通过粘性材料与所述保护外壳相连。

4.根据权利要求3所述的蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，其特征在于：所述加强板通过固定件固定于所述保护外壳的侧壁上。

5.根据权利要求3所述的蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，其特征在于：所述加强板的截面为倒置的L形，包括固定于所述保护外壳顶部的顶部加强板及通过所述粘性材料粘接于所述进气孔周边的侧壁加强板。

6.根据权利要求3或5所述的蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，其特征在于：所述加强板与所述保护外壳之间除粘性材料之外的区域存在有间隙。

7.根据权利要求1所述的蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，其特征在于：所述进气孔与气体输送装置相连。

8.根据权利要求1所述的蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，其特征在于：所述保护外壳的顶部内表面设有倾斜状的导水板，所述保护外壳的底部内表面设有收容槽，所述收容槽与所述导水板的最低位置处相对应。

9.根据权利要求8所述的蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，其特征在于：所述导水板从靠近所述进气孔的一侧向靠近所述抽气孔的一侧倾斜，所述导水板的下表面与所述保护外壳底部之间的距离，从远离所述抽气孔的一侧到靠近所述抽气孔的一侧逐渐变小。

10.根据权利要求9所述的蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，其特征在于：所述导水板靠近所述抽气孔一侧边缘的高度高于所述抽气孔的上边缘或与所述抽气孔的上边缘平齐。