[实用新型]蚀刻液浓度检测药剂的储存装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示器件的加工制造领域，尤其是一种蚀刻液浓度检测药剂的储存装置。

背景技术

在液晶显示器件例如阵列基板和彩色滤光片基板的制作过程中，需要通过多道光刻制程在玻璃基板上制作形成各种薄膜，每道光刻制程通常包括涂布光阻、曝光、显影、蚀刻、剥离光阻等多道工艺。其中，在蚀刻工艺中，为了获得理想的加工效果，蚀刻液的浓度需要保证在一定的范围内，因此就需要在制造过程中通过浓度控制系统时刻对蚀刻液的浓度进行检测与控制。

通常，检测药剂盛放于储存装置的内桶中，通过送液设备将检测药剂送往蚀刻设备内对蚀刻液进行检测。为了防止药液的挥发对外界环境造成的影响及保护检测药剂，在内桶的外部还需要设置一个保护外壳。为了便于观察内桶中检测药剂的剩余量，保护外壳一般由透明且材质较软的PVC板制成。然而随着内桶中检测药剂的不断挥发，保护外壳的内壁会发生严重的雾化，阻挡工作人员的视线，使工作人员不易把握内桶中检测药剂的剩余量，不能在检测药剂剩余量过低时及时对检测药剂进行补充。一旦内桶中检测药剂的剩余量过低，就会使浓度控制系统发生异常，从而对液晶显示器的质量造成影响。为了清除保护外壳内壁上的雾气，需要经常打开保护外壳对储存装置进行清理，这样不仅降低了生产效率，同时也容易造成药剂的挥发，对工作人员造成危害。

在现有技术中，一般会在保护外壳上增设一抽气孔，通过抽气泵或排风扇等将保护外壳内的水气抽出，然而此种方法因为空气流通的不畅而不能很好地解决雾化现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，该储存装置可以防止在内壁上生成雾气，以便准确地把握内桶中检测药剂的剩余量，实现对内桶中检测药剂进行准确及时的更换。

本实用新型实施例提供了一种蚀刻液浓度检测药剂的储存装置，包括储存液体的内桶及罩于所述内桶外的保护外壳，所述保护外壳的侧壁上开设有抽气孔与进气孔，所述抽气孔与抽气装置相连，所述进气孔所在的侧壁上设置有加强板，所述加强板增加所述进气孔周围保护外壳的强度。

进一步地，所述抽气孔的开口位置位于所述保护外壳侧壁的上部，所述进气孔的开口位置位于所述抽气孔相对侧的所述保护外壳侧壁的下部。

进一步地，所述加强板上形成有与所述进气孔形状相同的豁口，所述加强板在所述进气孔的周边位置通过粘性材料与所述保护外壳相连。

进一步地，所述加强板通过螺栓固定于所述保护外壳的侧壁上。

进一步地，所述加强板的截面为倒置的L形，包括固定于所述保护外壳顶部的顶部加强板及通过所述粘性材料粘接于所述进气孔周边的侧壁加强板。

进一步地，所述加强板与所述保护外壳之间，除通过粘性材料连接区域以外的部分，存在有间隙。

进一步地，所述进气孔与气体输送装置相连。

进一步地，所述保护外壳顶部的内表面设有倾斜状的导水板，所述保护外壳的底部与所述导水板的最低位置相对应处设有收容槽，所述收容槽与所述导水板的最低位置处相对应。进一步地，所述导水板从靠近所述进气孔的一侧向靠近所述抽气孔的一侧倾斜，所述导水板的下表面与所述保护外壳底部之间的距离，从远离所述抽气孔的一侧到靠近所述抽气孔的一侧逐渐变小。

进一步地，所述导水板靠近所述抽气孔一侧边缘的高度高于所述抽气孔的上边缘或与抽气孔的上边缘平齐。

综上所述，在本实用新型中，通过增加进气孔及在进气孔周围增设加强板，使储存装置内部形成一完整的空气循环，通过该循环将储存装置中的水气从保护外壳中排出，避免了保护外壳上雾气的产生，使得操作人员能够更清楚地观察到储存装置内部的情况，以便及时添加检测药液，从而能够准确地监控蚀刻液的浓度，同时由于基本不用清理保护外壳上的雾气，因此也能够提高生产效率，保护工作环境。进一步地，通过导水板及收容槽的设置，使得凝结于保护外壳顶部的冷凝水能够通过导水板流入收容槽内，减少对保护外壳底部积水的清理次数。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型的一个实施例中蚀刻液浓度检测药剂的储存装置结构示意图。

图2为图1所示储存装置的左视图。

图3为本实用新型另一实施例的结构示意图。

具体实施方式