[实用新型]一种晶体频率微调机有效
| 申请号： | 201520127692.6 | 申请日： | 2015-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN204474744U | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 王骥;关维国;朱木典;朱柳典;许萍;白长庚 | 申请（专利权）人： | 江苏海峰电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人： | 朱小燕;刘喜莲 |
| 地址： | 222300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 频率 微调 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶体频率微调机，包括设在工作台上的底盘，底盘上罩有真空罩，真空罩内形成真空腔室，在底盘的下方设有与真空腔室相连的抽真空机组，其特征在于：在真空腔室内设有旋转盘，旋转盘上装有固定晶体的微调圈，在微调圈内设有蒸发舱，在微调圈外设有与蒸发舱配合的频率测试头，正对频率测试头的蒸发舱前舱壁上设有喷射孔，在蒸发舱内设有蒸镀机构，蒸镀机构与蒸发舱前舱壁之间设有与喷射孔配合的挡板。
2.根据权利要求1所述的晶体频率微调机，其特征在于：所述蒸镀机构包括两个钼舟和两个电极柱，两个钼舟分别通过钼杆与同侧的电极柱相连。
3.根据权利要求1所述的晶体频率微调机，其特征在于：在蒸发舱的后方设有驱动挡板左右运动的电磁装置，所述的电磁装置包括两根水平设置并正对的电磁杆，两根电磁杆之间设有吸附间隙，在吸附间隙处设有穿过蒸发舱的后舱壁与挡板相连的金属档杆。
4.根据权利要求1所述的晶体频率微调机，其特征在于：所述的微调圈包括圈体，在圈体的上部沿其周向方向设有若干竖向设置的晶体安装槽，在圈体的底部设有若干安装孔。
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