[实用新型]一种用于腔室门的密封装置

权利要求书

1.一种用于腔室门的密封装置，其特征在于，包括：

腔室隔板，设于腔室与机械手运动区域之间，用于将腔室与其他区域相隔离；所述腔室隔板设有门孔，用于机械手向腔室传取晶片；所述腔室隔板外侧平行活动设有与所述门孔相配合的腔室门，用于受驱动沿直线平移至所述门孔对应位置或反向移开；

第一磁铁、第二磁铁和第三磁铁，所述第一磁铁设于所述腔室隔板外侧，并包围所述门孔；所述第二磁铁设于所述腔室隔板外侧，并位于所述第一磁铁以外的所述腔室门的移动区域；所述第三磁铁水平滑动设于所述腔室门的内侧；

其中，当所述腔室门移至所述门孔对应位置时，通过在所述第三磁铁与所述第一磁铁之间产生相反极性相吸，使所述第三磁铁通过水平滑动与所述第一磁铁吸合，将所述门孔密封；通过在所述第三磁铁与所述第一、第二磁铁之间产生相同极性相斥，使所述第三磁铁通过水平滑动与所述第一磁铁分离，将所述门孔打开，并与所述第二磁铁保持间隙，以跟随所述腔室门移动。

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述门孔的两侧设有一副导轨，所述导轨设有滑块，所述滑块连接所述腔室门的两侧，所述腔室门受驱动沿所述导轨向所述门孔平移或移开。

3.根据权利要求2所述的密封装置，其特征在于，所述导轨设于所述门孔的左右或上下两侧。

4.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述腔室门与所述第三磁铁之间通过相配合的导向柱和导槽形成水平滑动连接。

5.根据权利要求4所述的密封装置，其特征在于，所述腔室门内侧设有水平柱形导向柱，所述第三磁铁相对侧设有与所述导向柱相配合的导槽。

6.根据权利要求4或5所述的密封装置，其特征在于，所述导向柱位于所述腔室门的内侧中心。

7.根据权利要求1、2、4或5所述的密封装置，其特征在于，所述腔室门连接驱动机构。

8.根据权利要求7所述的密封装置，其特征在于，所述驱动机构为气缸或连杆。

9.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述第一磁铁和第三磁铁其中之一为电磁铁。

10.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述第一磁铁和第三磁铁至少有一个为电磁铁。