[实用新型]二维串联小体积工作台

说明书

技术领域

本实用新型涉及微驱动技术领域，特别是涉及一种二维串联小体积工作台。

背景技术

目前，压电陶瓷致动器件所具有的优点已得到广泛的承认和应用。压电陶瓷致动器件是利用压电材料的逆压电效应来工作的，仅依靠外加电场的大小就能够实现驱动，其克服了以往机械式、液压式、气动式、电磁式等执行器惯性大、响应慢、结构复杂、可靠性差等不足。具有体积小、结构紧凑、无机械摩擦、无间隙、分辨率高、响应快、无发热、不受磁场干扰、可在低温，真空度环境下使用等优点，被广泛应用于微定位技术中。例如物镜精密定位、大行程纳米对准系统、高精度显微纳米压印、主动减震、掩模与晶圆对准、光刻、光学干涉、光纤对接、亚纳米测量、光盘测试、光学测试、流体控制阀、声学仪器换能器、线性电动机和微波声学等领域，这种可控的精密微位移执行器必将在今后诸多技术领域中发挥难以估量的作用。

二维大行程小体积精密微定位平台主要是以压电陶瓷致动器件作为驱动源，依靠压电陶瓷驱动电源的电压激励，实现压电陶瓷致动器件的微位移形变，并通过柔性铰链柔性机构进行无间隙的微位移传动，从而实现被驱动样件的二维精密定位。其相对于其他驱动方式的二维精密定位技术，如电机驱动、音圈电机驱动、记忆合金驱动及磁滞伸缩驱动方式等，其基本原理实现方便、控制简单，并具有分辨率高、传动无间隙、易微小化、运动精度高和重复定位精度高等优点。它在微驱动各个领域，如微机电系统、光学调整、超精密加工等方面都是必不可少的，特别是在生物细胞操作、STM和AFM显微镜扫描平台等腔体空间很小的场合，有着广阔的应用前景，并能产生巨大的社会及经济效益。现已成为微驱动精密定位领域中不可或缺的关键技术之一。其中二维精密定位平台，主要功能是实现被操作样件或被观测样件的二维精密运动和定位，以及微探针的二维操作等。

目前根据二维运动实现方式的不同，二维精密定位平台主要分为串联式二维精密定位平台和嵌套式二维精密定位平台。根据位移放大方式的不同，又分为直接驱动、杠杆式放大、椭圆放大、菱形放大和平行四边形放大式的二维精密定位平台。但是，现有的精密定位装置中存在体积过大、行程过小、定位精度达不到要求、响应时间慢等问题。

因此，针对上述问题，有必要提供一种二维串联小体积工作台。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种二维串联小体积工作台，以克服现有技术中存在的不足。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供的技术方案如下：

一种二维串联小体积工作台，其包括：平台底座、连接块、第一平行四边形放大机构、第二平行四边形放大机构、运动块；

所述第一平行四边形放大机构位于所述平台底座上，所述第二平行四边形放大机构与所述第一平行四边形放大机构通过所述连接块相串联，且所述第二平行四边形放大机构与所述第一平行四边形放大机构正交垂直设置，所述第二平行四边形放大机构的运动方向与所述第一平行四边形放大机构的运动方向相垂直，所述第二平行四边形放大机构同时与所述运动块相连接；

所述第一平行四边形放大机构和第二平行四边形放大机构中的任一个包括：平行四边形放大机构本体、预紧顶丝、压电陶瓷致动器、钨钢片、钢制滚珠、封堵；所述压电陶瓷致动器位于所述平行四边形放大机构本体内部，所述预紧顶丝、钨钢片、钢制滚珠、封堵设置于所述压电陶瓷致动器的一端。

作为本实用新型的二维串联小体积工作台的改进，所述平行四边形放大机构本体具有：第一铰链点、第二铰链点、第三铰链点、第四铰链点、第五铰链点，所述第一铰链点、第二铰链点、第三铰链点位于所述平行四边形放大机构本体的一端，所述第四铰链点、第五铰链点位于所述平行四边形放大机构本体的另一端；

所述第一铰链点、第二铰链点、第三铰链点为纯滚动铰链点，所述第四铰链点、第五铰链点为非固定滚动铰链点。

作为本实用新型的二维串联小体积工作台的改进，所述第一铰链点、第二铰链点、第三铰链点、第四铰链点、第五铰链点为柔性铰链。

作为本实用新型的二维串联小体积工作台的改进，所述各个柔性铰链的最大形变时的恢复力小于所述压电陶瓷致动器的最大驱动力，所述柔性铰链最大应力小于所述平行四边形放大机构本体自身的许用应力。

作为本实用新型的二维串联小体积工作台的改进，所述压电陶瓷致动器一端粘接于所述钨钢片上，另一端与所述第五铰链点对应的平面相接触。