[实用新型]一种掩模版的夹持装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及掩模版技术领域，具体涉及一种掩模版的夹持装置。

背景技术

掩模版是一种在薄膜、塑料或玻璃基体材料上，制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的结构，其也称光罩或光学掩模版，常见的掩模版有铬版、干版和菲林等。

掩模版在生产、运输、安装或使用之中，会在掩模版表面产生某些缺陷，如划伤、顶伤、蹭伤、白缺陷、黑缺陷等，故在生产完成后或使用一段时间后，应对掩模版表面进行检查。

现有的检查方式包括自动检查和人工检查，其中自动检查是通过自动检测设备进行检查，但是其投入成本高，检查效率低、检查准确性低；而人工检查一般是在强光下进行查看是否存在缺陷，但是其不能正常检查大尺寸掩膜版的外观缺陷。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种掩模版的夹持装置，提高掩模版的检查效率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种掩模版的夹持装置，包括总架，还包括：

固定组件，其包括可调支架和掩模版固定件，该掩模版固定件设置在可调支架上，用于固定掩模版；

底部支撑架，其与可调支架连接，并与总架转动连接，该可调支架通过底部支撑架在一定倾斜角度上进行摆动。

其中，较佳方案是：该底部支撑架包括一移动组件，该可调支架与移动组件连接，该可调支架通过移动组件在底部支撑架上移动。

其中，较佳方案是：该移动组件包括第一锁定件。

其中，较佳方案是：该移动组件包括设置在底部支撑架上的移动轨道，该可调支架的底部包括与移动轨道配合的限位结构，该可调支架通过限位结构在移动轨道上移动。

其中，较佳方案是：该掩模版固定件包括设置在移动架底部的底部掩模版固定件，和设置在移动架顶部的顶部掩模版固定件。

其中，较佳方案是：该掩模版固定件包括一固定凹槽。

其中，较佳方案是：该底部掩模版固定件为“L”型结构。

其中，较佳方案是：还包括一旋转轴，该底部支撑架通过旋转轴与总架旋转连接。

其中，较佳方案是：该总架包括一限位凹槽，该底部支撑架设置在限位凹槽内。

其中，较佳方案是：还包括与底部支撑架连接的第二锁定组件。

本实用新型的有益效果在于，与现有技术相比，本实用新型通过设计一种掩模版的夹持装置，在检查掩模版前夹紧掩模版，实现对大尺寸掩膜版进行人工外观检查，降低成本；同时掩模版可通过夹持装置进行角度旋转，提高检查准确性，提高检查效率。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型夹持装置的剖面正视图；

图2是本实用新型夹持装置的剖面左视图；

图3是本实用新型夹持装置的剖面放大图；

图4是本实用新型掩模版固定件的剖面正视图；

图5是本实用新型掩模版固定件的剖面左视图。

具体实施方式

现结合附图，对本实用新型的较佳实施例作详细说明。

如图1和图2所示，本实用新型提供一种掩模版的夹持装置的优选实施例，其中，图1是夹持装置的剖面正视图；图2是夹持装置的剖面左视图

一种掩模版的夹持装置，包括总架30，还包括固定组件10和底部支撑架20，掩模版通过固定组件10固定，并通过底部支撑架20带动旋转，便于掩模版的检查。

其中，固定组件10，其包括可调支架11和掩模版固定件12，掩模版固定件12设置在可调支架11上，用于固定掩模版；底部支撑架20，其与可调支架11连接，并与总架30转动连接，可调支架11通过底部支撑架20在一定倾斜角度上进行摆动。

具体地，可调支架11是设置在底部支撑架20上的两端的支撑架，包括第一可调支架11和第二可调支架11，掩模版固定在第一可调支架11和第二可调支架11之间。

掩模版固定件12包括设置在移动架底部的底部掩模版固定件121，和设置在移动架顶部的顶部掩模版固定件122，即包括两个底部掩模版固定件121和两个顶部掩模版固定件122，通过四个掩模版固定件12将掩模版固定在第一可调支架11和第二可调支架11之间。