[实用新型]对位机构以及设有该对位机构的曝光机

权利要求书

1.一种对位机构，包括基座组件(100)以及可转动设置在基座组件(100)上的对位支架(200)，其特征在于：还包括调节对位支架(200)相对基座组件(100)转动的角度调节装置(300)，所述角度调节装置(300)设置在所述基座组件(100)上，所述角度调节装置(300)包括推动装置(301)和用于驱动所述推动装置(301)平移的第一驱动装置(302)，所述第一驱动装置(302)包括直线电机组件(1)和光栅组件(2)，所述光栅组件(2)包括光栅尺(21)、安装支架(22)和光栅尺读数头(23)，所述光栅尺读数头(23)与推动装置(301)相连并与推动装置(301)移动方向平行设置，所述安装支架(22)与基座组件(100)相连，所述光栅尺(21)设置在所述的安装支架(22)上。

2.根据权利要求1所述的对位机构，其特征在于：所述推动装置(301)包括推板结构(3)、配合推板结构(3)相对基座组件(100)滑动的第四滑动组件(4)、设置在推板结构(3)一端上的转动体一(5)，所述推板结构(3)一侧与直线电机组件(1)相连，另一侧与光栅组件(2)相连，所述推板结构(3)包括推板结构本体(31)、在所述推板结构本体(31)的前端上设有的轴一(32)，所述转动体一(5)套装在轴一(32)上并能相对轴一(32)转动；所述转动体一(5)的外周面与所述对位支架(200)一端的端面相接触，所述直线电机组件(1)驱动所述推板结构(3)前进带动所述转动体一(5)进行转动时，所述转动体一(5)的外周面与所述对位支架(200)接触时产生推压力，所述推压力作用在所述对位支架(200)上，驱动对位支架(200)相对基座组件(100)进行转动。

3.根据权利要求2所述的对位机构，其特征在于：所述第四滑动组件(4)包括设置在所述基座组件(100)上的导轨四(41)和与导轨四(41)相配合的滑块四(42)，所述导轨四(41)包括上导轨四本体(411)、下导轨四本体(412)以及在上导轨四本体(411)和下导轨四本体(412)连接后两侧分别形成的导槽四(413)，所述滑块四(42)包括滑块四本体(421)和在滑块四本体(421) 上设有的与导槽四(413)相配合的导向块四(422)以及在导向块四(422)上方设有的用于容纳上导轨四(41)本体的腔体(423)。

4.根据权利要求2或3所述的对位机构，其特征在于：所述角度调节装置(300)还包括用于平衡所述对位支架(200)和推板结构(3)的第一平衡装置(303)，所述第一平衡装置(303)包括分别设置在对位支架(200)和推板结构(3)上的支撑柱一(3031)以及连接所述推板结构(3)与所述对位支架(200)的弹性件一(3032)，所述弹性件一(3032)的一端通过支撑柱一(3031)与推板结构(3)相连，另一端通过支撑柱一(3031)与对位支架(200)相连。

5.根据权利要求4所述的对位机构，其特征在于：还包括驱动所述基座组件(100)和对位支架(200)一并沿Y方向移动的第一移动装置(400)和一并沿X方向移动的第二移动装置(500)以及连接第一移动装置(400)和第二移动装置(500)的连接基板(600)，所述第一移动装置(400)与所述基座组件(100)相连，所述连接基板(600)设置在所述第一移动装置(400)上方，所述第二移动装置(500)设置在所述连接基板(600)上方。

6.根据权利要求5所述的对位机构，其特征在于：所述第一移动装置(400)包括至少两对第一滑动组件(401)以及驱动所述基座组件(100)和对位支架(200)一并沿Y方向移动的第二驱动装置(6)，所述第一滑动组件(401)包括与基座组件(100)相连的滑块一(4011)、与滑块一(4011)相配合的并连接在所述连接基板(600)底部的导轨一(4012)，所述导轨一(4012)包括两个导槽一(4013)，所述滑块一(4011)设有两个导向块一(4014)，滑动时，通过两个导向块一(4014)嵌入到导槽一(4013)。