[实用新型]一种氦气回收提纯处理系统

权利要求书

1.一种氦气回收提纯处理系统，其特征在于：该系统包括用于回收工业废气的稳压回收装置（10）、用于氦气预处理的预处理装置（20）和用于氦气提纯的提纯装置，所述稳压回收装置（10）的出气端与所述预处理装置（20）的进气端相连，所述预处理装置的出气端与所述提纯装置（30）的进气端连接，所述提纯装置（30）的出气端与氦气储存装置连接。

2.如权利要求1所述的氦气回收提纯处理系统，其特征在于：所述稳压回收装置包括回收容器（12）、风速传感器（13）和变频风机（14），所述回收容器（12）上设有进气管（11）、出气口（16）和测试口（15），所述进气管（11）与工业废气的排泄端通过输气管道（17）连接，所述风速传感器（13）安装于所述测试口（15）内，所述出气口（16）通过输气管道（17）与所述变频风机（14）相连。

3.如权利要求2所述的氦气回收提纯处理系统，其特征在于：所述出气口（16）和所述测试口（15）分别设置于所述回收容器（12）的上下两端，所述测试口（15）与空气连接。

4.如权利要求2所述的氦气回收提纯处理系统，其特征在于：所述回收容器的罐体为阶梯状圆柱体，靠近所述出气口一侧的圆柱体直径大于靠近所述测试端一侧的圆柱体直径。

5.如权利要求2至4任一项所述的氦气回收提纯处理系统，其特征在于：所述预处理装置（20）为膜处理装置，所述膜处理装置的输入端与所述变频风机（14）的输出端连接，所述膜处理装置的输出端与所述提纯装置的输入端连接。

6.如权利要求5所述的氦气回收提纯处理系统，其特征在于：所述提纯装置包括第一净化系统（31）和第二净化系统（32），所述第一净化系统与所述第二净化系统之间设有精馏塔（33），所述精馏塔（33）与所述第二净化系统之间通过输气管道连接，所述输气管道上设有与所述膜处理装置输出端联通的回流管道（36），所述回流管道（36）上设有阀门（34）。