[实用新型]一种极紫外激光放大装置有效
| 申请号： | 201520183857.1 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN204668714U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 尉鹏飞;郁慧珍;俞军;杨丁中;董一鸣;连进玲;梁奇锋 | 申请（专利权）人： | 绍兴文理学院 |
| 主分类号： | H01S3/0941 | 分类号： | H01S3/0941;H01S3/081 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所 33220 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 激光 放大 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种极紫外激光放大装置，其特征在于：包括光源,所述光源的一侧安装有分束片,所述分束片将光源分为激发光束和驱动光束,所述激发光束的一侧安装有延时装置,所述延时装置的一侧安装有第一全反镜和第二全反镜,所述第一全反镜位于第二全反镜的上方，所述第一全反镜和第二全反镜之间安装有能量控制器,且第二全反镜的下方安装有1/4波片,所述1/4波片的下方安装有合束片；所述驱动光束的下方安装有第三全反镜，所述第三全反镜位于合束片的一侧，所述合束片的另一侧安装有聚焦透镜，所述聚焦透镜的一侧安装有气体盒，所述气体盒的一侧安装有铝膜，所述铝膜的一侧为极紫外激光，所述气体盒、铝膜和极紫外激光均置于真空环境中。
2.如权利要求1所述的极紫外激光放大装置，其特征在于：所述的能量控制器包括半波片和检偏器，所述半波片位于检偏器的上方。
3.如权利要求1所述的极紫外激光放大装置，其特征在于：所述的延时装置为由两个全反镜组成直角反射器并放置在延时导轨上。
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