[实用新型]一种全自动晶圆划片机

权利要求书

1.一种全自动晶圆划片机，包括机架，所述机架的一侧设置有激光器，所述激光器的下方设置有旋转划片工作台，其特征在于：所述机架的另一侧设置有自动放收料装置，所述自动放收料装置的旁侧设置有理料机构，所述自动放收料装置与理料机构之间连接有夹料机械手，所述理料机构与划片工作台之间设置有两组相互错位的吸料机械手。

2. 根据权利要求1所述的一种全自动晶圆划片机，其特征在于：所述自动放收料装置包括第一支撑架、料架和第一电机，所述料架可上下滑动连接于第一支撑架，所述第一电机通过丝杠机构驱动料架上下滑动；

所述料架的内部由上至下分布有若干料槽。

3. 根据权利要求1所述的一种全自动晶圆划片机，其特征在于：所述理料机构包括第二支撑架和第二电机，所述第二支撑架设置有滑轨，所述滑轨滑动连接有两组相互反向运动的夹臂；所述第二电机输出端连接有传动皮带，所述两组夹臂分别连接于传动皮带。

4. 根据权利要求1所述的一种全自动晶圆划片机，其特征在于：所述夹料机械手包括第三支撑架和第三电机，所述第三支撑架连接有可滑动的夹料手指，所述第三电机通过丝杠机构驱动夹料手指往复运动。

5. 根据权利要求1所述的一种全自动晶圆划片机，其特征在于：所述吸料机械手包括第四支撑架和第四电机，所述第四支撑架滑动连接有竖直滑轨，所述第四电机通过丝杠机构驱动竖直滑轨往复运动，所述竖直滑轨滑动连接有竖直滑块，所述竖直滑轨设置有第五电机，所述第五电机通过丝杠机构驱动竖直滑块往复运动，所述竖直滑块的底部设置有用于吸取物料的吸嘴头；

两组吸料机械手的吸嘴头相互错位设置。

6. 根据权利要求1所述的一种全自动晶圆划片机，其特征在于：所述旋转划片工作台包括X-Y进给系统和真空吸附旋转台，所述真空吸附旋转台设置于X-Y进给系统。

7. 根据权利要求2所述的一种全自动晶圆划片机，其特征在于：所述料架的若干料槽设置有用于装夹晶圆片的钢环载具，所述钢环载具的边缘设置有平整边。