[实用新型]可调变角度的镀膜装置

权利要求书

1.一种可调变角度的镀膜装置，用于放置至少一个待镀基材，其特征在于，所述可调变角度的镀膜装置包含：

至少一个基材载具，其包含载面；

自转模块，其包含：

中轴，其连接所述基材载具，所述中轴的延伸方向与所述载面的延伸方向相交有夹角；及

转动马达，其连动所述中轴而使所述基材载具自转；以及

倾角调变模块，其包含：

具有升降套座的至少一个升降件，所述升降套座可位移地套接所述中轴，令所述升降件在平行于所述中轴的延伸方向位移受到限制，且所述升降件连接所述基材载具；及

升降马达，其带动所述升降件位移而连动所述基材载具，致使所述夹角调变。

2.如权利要求1所述的可调变角度的镀膜装置，其特征在于，所述升降马达调整所述夹角变小而致使所述基材载具靠拢所述中轴，或者所述升降马达调整所述夹角变大而致使所述基材载具远离所述中轴。

3.如权利要求1所述的可调变角度的镀膜装置，其特征在于，所述基材载具还包含升降温控制器，所述升降温控制器可包含电热件、致冷件及温度监控件，所述电热件加热所述待镀基材的温度，所述致冷件冷却所述待镀基材的温度，所述温度监控件监控所述待镀基材的温度。

4.如权利要求1所述的可调变角度的镀膜装置，其特征在于，所述基材载具还包含通偏压控制器，所述通偏压控制器控制所述基材载具的电压。

5.如权利要求1所述的可调变角度的镀膜装置，其特征在于，所述待镀基材具有多个试片，所述基材载具能放置所述多个试片。

6.如权利要求1所述的可调变角度的镀膜装置，其特征在于，所述倾角调变模块还包含：

万向接头，其固接所述升降套座；以及

万向连杆，所述万向连杆的两端分别连接所述万向接头与所述基材载具。

7.如权利要求1所述的可调变角度的镀膜装置，其特征在于，所述自转模块还包含：

中轴齿轮，其固接所述中轴；以及

配向齿轮，其齿合所述中轴齿轮且连接所述基材载具，所述中轴被所述转动马达转动而连动所述配向齿轮，致使所述基材载具自转。

8.一种可调变角度的镀膜装置，用于放置多个待镀基材，其特征在于，所述可调变角度的镀膜装置包含：

多个基材载具，各所述基材载具包含载面，各所述载面放置其中一个所述待镀基材；

自转模块，其包含：

中轴，其连接各所述基材载具，所述中轴的延伸方向与所述载面的延伸方向相交有夹角；及

转动马达，其连动所述中轴而使各所述基材载具自转；

倾角调变模块，其包含：

具有升降套座的至少一个升降件，所述升降套座可位移地套接所述中轴，令所述升降件平行于所述中轴的延伸方向位移，且所述升降件连接各所述基材载具；及

升降马达，其带动所述升降件位移而连动各所述基材载具，致使所述夹角调变；以及

公转模块，其包含：

盘座，其固接所述转动马达与所述升降马达；

转轴，所述转轴的一端连接所述盘座；及

公转马达，其连接所述转轴的另一端，所述公转马达通过所述转轴水平转动所述盘座而连动所述中轴，致使各所述基材载具绕所述盘座公转。

9.如权利要求8所述的可调变角度的镀膜装置，其特征在于，所述多个基材载具的数量为2个、4个、6个或8个。

10.如权利要求8所述的可调变角度的镀膜装置，其特征在于，所述基材载具还包含升降温控制器，且所述升降温控制器包含电热件、致冷件及温度监控件，所述电热件加热其中一个所述待镀基材的温度，所述致冷件冷却所述待镀基材的温度，所述温度监控件监控所述待镀基材的温度。

11.如权利要求8所述的可调变角度的镀膜装置，其特征在于，所述基材载具还包含通偏压控制器，所述通偏压控制器控制其中一个所述基材载具的电压。

12.如权利要求8所述的可调变角度的镀膜装置，其特征在于，所述待镀基材具有多个试片，其中一个所述基材载具能放置所述多个试片。