[实用新型]可调变角度的镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜装置，特别是涉及一种可调变角度的镀膜装置。

背景技术

当前，许多工业产品表面都镀有薄膜以改善产品表面的各种性能，例如：增加待镀基材的耐热、耐蚀、表面硬度或延长使用寿命。一般的镀膜方法主要包括热阻式蒸镀法、射频磁控溅镀法、电子束热蒸镀法、化学气相沉积法、分子束外延法以及离子镀膜法，其中如何将镀膜原料以连续性均匀的方式披覆在被镀物的表面上，并大幅增加产量及降低成本，已成为从事此行业的相关人士所研究的重要课题。

在传统的真空镀膜装置中，一般待镀基材大多采用二维式真空镀膜法，也就是只在于表面沉积特定材质的薄膜，虽然可支援多片进样与定角度工艺作业，但无法在工艺过程中即时调整待镀基材与镀膜源之间的角度关系。至于常见的斜角度镀膜法(Oblique Angle Deposition，OAD)，虽然可调整待镀基材与镀膜源之间的角度关系，却受制于待镀基材的尺寸与系统几何大小而无法大量生产。由此可知，目前市场上缺乏一种可即时调整倾斜角度、可公自转镀膜且能大幅增加量产的镀膜装置，所以相关研究者正在寻求其解决之道。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的在于提供一种可调变角度的镀膜装置，其利用特殊的升降套座来连结倾角调变模块与自转模块，不但可在镀膜的过程中自由地调变基材载具的倾斜角度，同时还可让基材载具自转。通过倾角调变模块、自转模块以及公转模块三者间的固定连接，可在此基材载具实现：一、在待镀基材表面产生均匀镀膜的效果；二、在待镀基材表面成长三维立体结构薄膜的效果。再者，通过升降温控制器与通偏压控制器的设置，可使基材载具兼具升降温与通偏压的功能，进而让待镀基材符合各种镀膜工艺的需求。另外，基材载具可以放置多个试片，能大幅地提高产量。

本实用新型的一个实施方式为一种可调变角度的镀膜装置，用于放置至少一个待镀基材，此可调变角度的镀膜装置包含至少一个基材载具、自转模块以及倾角调变模块。其中基材载具包含载面。自转模块则包含中轴与转动马达。中轴连接基材载具，且中轴的延伸方向与载面的延伸方向相交有夹角。转动马达连动中轴而使基材载具自转。再者，倾角调变模块包含具有升降套座的至少一个升降件与升降马达。其中升降套座可位移地套接中轴，令升降件受限平行于中轴的延伸方向位移，且升降件连接基材载具。而升降马达则带动升降件位移而连动基材载具，致使夹角调变。

借此，本实用新型的可调变角度的镀膜装置利用特殊的升降套座来连结倾角调变模块与自转模块，不但可在镀膜的过程中自由地调变基材载具的倾斜角度，同时还可让基材载具自转。

根据前述实施方式的其他实施例如下：前述升降马达可调整夹角变小而致使基材载具靠拢中轴，或者前述升降马达可调整夹角变大而致使基材载具远离中轴。再者，前述基材载具可包含升降温控制器，此升降温控制器可包含电热件、致冷件及温度监控件。其中电热件可加热待镀基材的温度；致冷件可冷却待镀基材的温度；温度监控件则可监控待镀基材的温度。此外，前述基材载具可包含通偏压控制器，此通偏压控制器控制基材载具的电压。前述待镀基材具有多个试片，而基材载具可放置这些试片。另外，前述倾角调变模块可包含万向接头与万向连杆。其中万向接头固接升降套座，万向连杆的两端则分别连接万向接头与基材载具。前述自转模块可包含中轴齿轮与配向齿轮，中轴齿轮固接中轴，而配向齿轮则齿合中轴齿轮且连接基材载具。中轴被转动马达转动而连动配向齿轮，致使基材载具自转。

通过上述实施例，在基材载具上加装升降温控制器与通偏压控制器，不但可使基材载具的倾斜角度改变，还同时兼具升降温与通偏压的功能，进而让待镀基材符合各种镀膜工艺的需求。在此结构下，使用者除了可以按其工艺需求来控制待镀基材的表面温度外，也可将基材载具用于各式真空镀膜系统中。再者，一个基材载具可以放置多个试片，能大幅地提高产量。此外，万向接头与万向连杆的动态连结设计可以让整个机构在调变基材载具上下方向的倾斜角度时，不会影响基材载具自转的摆荡动作。另外，中轴齿轮结合配向齿轮的轮轴结构可使转动马达同步带动基材载具的载垫自转，其结构简单且拆组方便，使用者可根据需求来配置。