[实用新型]输运性质测量系统

权利要求书

1.一种输运性质测量系统，包括一测量头和一测量腔，其特征在于，所述测量头包括一样品台、一探针台和一第一电极盘，所述探针台位于所述样品台与第一电极盘之间，所述测量腔内具有一第二电极盘，所述第一电极盘和第二电极盘具有一一对应的电极。

2.如权利要求1所述的输运性质测量系统，其特征在于，所述测量腔为真空环境。

3.如权利要求1所述的输运性质测量系统，其特征在于，所述第二电极盘位于测量腔内的底部。

4.如权利要求1所述的输运性质测量系统，其特征在于，所述探针台包括一限位基底、一筒状基底和一设置有探针阵列的位移台，所述限位基底和筒状基底用于使所述位移台移动，使得所述探针阵列移动。

5.如权利要求4所述的输运性质测量系统，其特征在于，所述位移台由一第一位移体和一第二位移体组成，该第二位移体具有相对的两端，所述第一位移体的中间与第二位移体的一端连接，所述第二位移体的另一端设置所述探针阵列。

6.如权利要求5所述的输运性质测量系统，其特征在于，所述筒状基底具有一底壁，该底壁具有一第四通孔，且定义该底壁远离筒状基底的内部的一侧为外侧，所述第二位移体设置探针阵列的一端穿过该第四通孔伸入筒状基底内部，而所述第二位移体的另一端留在所述底壁的外侧。

7.如权利要求6所述的输运性质测量系统，其特征在于，所述限位基底位于第一位移体远离筒状基底的一侧，且与该第一位移体间隔设置。

8.如权利要求7所述的输运性质测量系统，其特征在于，所述限位基底靠近第一位移体的表面和所述筒状基底的底壁靠近第一位移体的表面均设置多个压电陶瓷，该多个压电陶瓷驱动所述位移台沿着垂直于筒状基底的轴线方向移动。

9.如权利要求7所述的输运性质测量系统，其特征在于，所述筒状基底的内侧壁上设置多个压电陶瓷，该多个压电陶瓷驱动所述位移台沿着筒状基底的轴线方向移动。

10.如权利要求1所述的输运性质测量系统，其特征在于，所述测量腔密闭且不透明。