[实用新型]输运性质测量系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种输运性质测量系统。

背景技术

低维量子物质是物理学研究内容最丰富的领域之一。半导体异质结界面的二维电子气、石墨烯、铜基和铁基超导体、拓扑绝缘体、氧化物界面以及过渡金属硫族化合物层状材料等等都属于这类体系。这些体系展现了自然界中一些最神奇的量子态，涉及凝聚态物理主要的重大科学问题，是揭示低维物理最具挑战的强电子关联问题的关键体系，它们很有可能还是导致未来信息、清洁能源、电力和精密测量等技术重大革新甚至是革命的一类体系，是目前全世界的研究重点。

对于这类体系的研究，不但需要精密的实验手段，更加重要的是，由于它们均可以从物理上提炼简化为厚度为一到几个原子层/单位原胞的准二维体系，一般情况下无法在空气环境下直接进行研究，需要将真空环境内生长的低维材料拿出真空系统，再放入测量系统上进行测量。现有技术的测量系统只能在可视状态下，将探针与低维材料电接触，以对该低维材料进行输运性质的测量，限制了该测量系统的应用范围。

实用新型内容

有鉴于此，确有必要提供一种非可视状态下能使探针阵列与低维材料结构电接触以测量低维材料结构输运性质的输运性质测量系统。

一种输运性质测量系统，包括一测量头和一测量腔，所述测量头包括一样品台、一探针台和一第一电极盘，所述探针台位于所述样品台与第一电极盘之间，所述测量腔内具有一第二电极盘，所述第一电极盘和第二电极盘具有一一对应的电极。

与现有技术相比，本实用新型提供的输运性质测量系统中，测量头中的 第一电极盘和测量腔中的第二电极盘具有一一对应的电极，且探针台可以在空间内移动以便探针台中的探针阵列与样品台中的电极接触。因此，可以先使探针阵列与电极对准接触后，然后使探针阵列略微移开电极，再将电极和探针阵列整体传送至所述测量腔中，最后使所述探针阵列接触所述电极进行输运性质测量，从而可以在非可视状态下，使探针阵列与低维材料结构电接触，测量该低维材料结构的输运性质，进一步扩大了输运性质测量系统的应用范围。

附图说明

图1为原位输运性质测量装置的立体结构的结构示意图。

图2为低维材料制备系统的剖面结构示意图。

图3为低维材料处理系统的立体结构的结构示意图。

图4为低维材料处理系统中电极蒸镀腔内部的立体结构分解图。

图5为低维材料处理系统中刻划处理腔内部及显微镜的立体结构示意图。

图6为输运性质测量系统的立体结构分解示意图。

图7为输运性质测量系统中探针台的剖面结构示意图。

图8为低维材料原位输运性质测量方法的流程图。

主要元件符号说明

原位输运性质测量装置 10

第一连接管           20 

第二连接管           22 

第三连接管           24 

低维材料制备系统     12

反应腔               120 

基底                 122 

低维材料结构         124 

蒸发源               126 

真空泵               128 

真空规           130 

快速进样腔       132 

磁力杆           134 

样品托           136 

悬臂杆           138 

低维材料表征系统 14

低维材料处理系统 16

电极蒸发源       160 

电极蒸镀单元     162

底法兰           1620 

支撑杆           1622 

支撑台           1624 

第一限位框       1626 

第一开口         16260 

斜面             16262 

第一壁           16264 

第二限位框       1628 

第二开口         16282 

第一样品托插座   1630

凸棒             1632 

磁力棒           1634