[实用新型]一种真空镀膜设备观察窗的保护装置

权利要求书

1.一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，包括带有固定挡片1、固定挡片2、固定挡片3、内卡圈4、外卡圈5的不锈钢筒体7及保护玻璃6，其特征在于不锈钢筒体一端带有向内凹用于卡紧保护玻璃的卡圈，并且带有若干个固定挡片确保保护玻璃与观察玻璃紧密贴合，使用时将保护玻璃放入不锈钢筒体带有内卡圈的一端，再将带有保护玻璃的一端放进观察窗座的内腔中，并将不锈钢筒体往内推，使保护玻璃和观察玻璃贴合，并利用向外凸起的卡圈将不锈钢筒体卡在观察窗座内，所述的观察窗座一般为圆柱体并密封焊接在真空腔室上，保护玻璃在观察玻璃与真空腔室之间现成了间隔，从而可以有效地保护观察玻璃不被污染，达到减少拆卸观察窗的目的。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，其特征在于所述的不锈钢筒体，其材料应具有一定的韧性，可以在筒体上折出永久变形的挡片，也可以是其他金属材料制成的筒体。

3.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，其特征在于所述的固定挡片主要用于挡住保护玻璃，确保保护玻璃与观察玻璃紧密贴合，挡片的数量及尺寸可以根据保护玻璃的尺寸和重量进行调整。

4.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，其特征在于所述的不锈钢筒体上带有固定挡片一端的向内凹的卡圈，在使用时，将保护玻璃从带有卡圈的一端放入，依靠卡圈弹性变形的弹力将保护玻璃卡住，协同固定挡片固定保护玻璃，卡圈的位置及数量可以根据保护玻璃的厚度和重量设置。

5.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，其特征在于所述的不锈钢筒体上带有向外凸起的卡圈，在使用时，依靠卡圈弹性变形的弹力将筒体卡在观察窗座腔内，卡圈的位置及数量可以根据筒体的长度和装置整体重量设置。

6.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，其特征在于所述的保护玻璃的直径要略小于观察窗座内腔的直径，保护玻璃由固定挡片固定在不锈钢筒体的一端，并随圆筒朝内卡持在观察窗座内腔中，与观察玻璃贴合。

7.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，其特征在于所述的不锈钢筒体长度要略长于观察窗座内腔的深度，以便于圆筒从观察窗座内腔中取出，但不能挡住观察窗的挡板。