[实用新型]一种真空镀膜设备观察窗的保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜设备观察窗的保护装置。

背景技术

真空镀膜技术作为制备薄膜材料的一种常用手段，在现代工业生产及科学研究中有着广泛的应用。观察窗是真空镀膜设备不可缺少的装置，在真空镀膜设备运行过程中至关重要。在真空镀膜时，操作者通过观察窗可以随时观察真空腔室内部的实时运行状况及镀膜的进展，从而保证镀膜的顺利进行及设备的安全运行。常用的观察窗一般采用挡板来保护观察玻璃，在观察的时候打开挡板，不观察的时候关闭挡板，由挡板挡住大部分污染物，阻止污染物沉积在观察玻璃上。但由于结构简单，仍然会有部分沉积物附着在观察玻璃上。同时，在长期使用观察窗观察镀膜实时情况后，观察玻璃同样也会被沉积上污染物变得模糊不清，甚至无法观察真空腔室内的工作情况。在这种情况下，为了获得最佳观察效果，往往需要拆卸观察窗，卸下观察玻璃进行清理。由于观察窗直接与真空腔室相连，频繁的拆卸会使得该部位密封性能变差，从而影响真空腔室的真空度及镀膜的质量。并且，对于采用金属密封垫圈的观察窗，每次拆卸都需要更换金属密封垫圈，维护成本较大。

发明内容

本实用新型就是为了解决现有技术中的不足，提供一种结构简单、清理方便并能有效保护观察玻璃不被污染的装置。

为实现上述目的，提供一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，包括带有固定挡片1、固定挡片2、固定挡片3、内卡圈4、外卡圈5的不锈钢筒体7及保护玻璃6，其特征在于不锈钢筒体一端带有向内凹用于卡紧保护玻璃的卡圈，并且带有若干个固定挡片确保保护玻璃与观察玻璃紧密贴合，使用时将保护玻璃放入不锈钢筒体带有内卡圈的一端，再将带有保护玻璃的一端放进观察窗座的内腔中，并将不锈钢筒体往内推，使保护玻璃和观察玻璃贴合，并利用向外凸起的卡圈将不锈钢筒体卡在观察窗座内，所述的观察窗座一般为圆柱体并密封焊接在真空腔室上，保护玻璃在观察玻璃与真空腔室之间现成了间隔，从而可以有效地保护观察玻璃不被污染，达到减少拆卸观察窗的目的。

所述的不锈钢筒体，其材料应具有一定的韧性，可以在筒体上折出永久变形的挡片，也可以是其他金属材料制成的筒体。

所述的固定挡片主要用于挡住保护玻璃，确保保护玻璃与观察玻璃紧密贴合，挡片的数量及尺寸可以根据保护玻璃的尺寸和重量进行调整。

所述的不锈钢筒体上带有固定挡片一端的向内凹的卡圈，在使用时，将保护玻璃从带有卡圈的一端放入，依靠卡圈弹性变形的弹力将保护玻璃卡住，协同固定挡片固定保护玻璃，卡圈的位置及数量可以根据保护玻璃的厚度和重量设置。

所述的不锈钢筒体上带有向外凸起的卡圈，在使用时，依靠卡圈弹性变形的弹力将筒体卡在观察窗座腔内，卡圈的位置及数量可以根据筒体的长度和装置整体重量设置。

所述的保护玻璃的直径要略小于观察窗座内腔的直径，保护玻璃由固定挡片固定在不锈钢筒体的一端，并随圆筒朝内卡持在观察窗座内腔中，与观察玻璃贴合。

所述的不锈钢筒体长度要略长于观察窗座内腔的深度，以便于圆筒从观察窗座内腔中取出，但不能挡住观察窗的挡板。

本实用新型在观察窗现有保护措施的基础上，采用一种简单的装置，将保护玻璃置于观察窗座内腔中，使得观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，达到再次保护观察玻璃不被污染、减少拆卸观察窗的目的。本实用新型的由不锈钢筒体制作而成，制作简单、方便。保护玻璃通过该圆筒可以卡持在观察窗座内腔内，并与观察玻璃贴合。从而，保护玻璃可以挡住污染物，有效地阻止其沉积在观察玻璃上，结合挡板保护，可以大大减少观察玻璃拆卸的次数，达到保护观察窗、减少维护成本的目的。由于保护玻璃挡住了污染物，长期使用后会变得模糊。此时，只要将本实用新型从观察窗座内腔中取出，然后将保护玻璃从不锈钢筒体的一端取出便可进行清理，无需拆卸观察窗，方便简单。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

如图所示，图中：1、2、3为固定挡片4为内卡圈5为外卡圈6为保护玻璃7为不锈钢筒体；

图2是本实用新型的截面图；

如图所示，图中：8为不锈钢筒体截面9为保护玻璃截面10为内卡圈截面11为外卡圈截面；

图3是将本实用新型置于观察窗座内腔内的实施示意图；

如图所示，图中：12为不锈钢筒体13为保护玻璃14为内卡圈15为外卡圈16为观察玻璃17为观察窗座内腔18为真空腔室壁。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明，这种装置的结构和原理对于本实用新型来说是非常清楚明了的。