[实用新型]一种气动敲击装置有效
| 申请号： | 201520254714.5 | 申请日： | 2015-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN204566423U | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 卓维煌;齐建 | 申请（专利权）人： | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气动 敲击 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种气动敲击装置，安装于晶圆劈裂机上，并且用于敲击劈刀单元，包括可变气压输出单元、制动器、击锤，其特征在于：
所述可变气压输出单元提供可变气压；
所述制动器固定于晶圆劈裂机上，所述可变气压输出单元气压连接所述制动器，并将所述可变气压输入至所述制动器，所述制动器是具有所述可变气压驱动而位移的位移件；
所述击锤固定于所述制动器上且垂直正对所述劈刀单元，并且所述击锤收到所述制动器的连动而敲击所述劈刀单元。
2.根据权利要求1所述的一种气动敲击装置，其特征在于：所述制动器内部含有一复位弹簧，用于复位所述位移件。
3.根据权利要求1所述的一种气动敲击装置，其特征在于：所述劈刀单元固定于滑座单元上，所述滑座单元相对滑轨移动，所述滑轨固定于所述晶圆劈裂机上。
4.根据权利要求1所述的一种气动敲击装置，其特征在于：所述制动器固定于突出板上，所述突出板固定于所述晶圆劈裂机上。
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