[实用新型]一种用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置

权利要求书

1.一种用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，其特征在于：包括入射准直器组件、与所述入射准直器组件相连的分光盒组件以及与所述分光盒组件连接的出射准直器组件；所述入射准直器组件包括形成入射通道的入射管体，所述入射管体内设置有入射狭缝平行板；所述出射准直器组件包括形成出射通道的出射管体，所述出射管体内设置有出射狭缝平行板；所述分光盒组件包括盒体以及安装于盒体内的多层膜晶体组件，所述多层膜晶体组件包括晶体托架以及位于晶体托架上的多层膜晶体；所述入射通道及出射通道的光轴分别与所述多层膜晶体之间形成的入射角与出射角相等并同时等于Al元素特征X射线的衍射角θ。

2.如权利要求1所述的用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，其特征在于：所述入射通道及出射通道的光轴分别通过所述盒体的中心。

3.如权利要求1所述的用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，其特征在于：所述多层膜晶体为平面型晶体。

4.如权利要求1所述的用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，其特征在于：所述出射准直器组件远离所述盒体的端部设置有X射线探测器。

5.如权利要求4所述的用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，其特征在于：所述X射线探测器为流气式正比计数器。

6.如权利要求1所述的用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，其特征在于：所述多层膜晶体的中心与入射狭缝平行板、出射狭缝平行板之间的距离为0.3～1mm。

7.如权利要求1-6任一项所述的用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，其特征在于：所述多层膜晶体组件还包括用于通过调整晶体托架角度而调整入射角的入射角调节装置。

8.如权利要求1-6任一项所述的用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，其特征在于：在所述入射管体内还设置有用于调整入射狭缝宽度的狭缝宽度调节装置。

9.如权利要求1-6任一项所述的用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，其特征在于：所述晶体托架上设置有转轴机构，通过所述入射角调节装置能够使所述晶体托架绕所述转轴机构旋转。