[实用新型]一种用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及测量设备技术领域，具体来说，涉及定量检测材料化学成份的精密仪器领域，尤其涉及一种用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置。

背景技术

多元素同时测量型X荧光光谱仪(以下简称同定型WDXRFS)的真空测量室周边安装了若干个固定元素道分光装置。每个采用平面晶体(以下简称平晶)的元素道分光装置，由入射准直器组件、与入射准直器组件尾部连接的分光盒组件、与分光盒组件连接的出射准直器组件组成。被X光管的X射线照射后样品中的不同元素发出各自的特征X射线，其波长互不相同。参见图1所示，这些X射线通过一次准直器管端部的狭缝和管内通道以θ角投射到分光盒组件内的分光晶体表面上，其中只有波长λ符合Bragg公式：nλ＝2dSinθ(n为衍射次数，一般为1，d为晶面间距)的元素特征X射线才能以同一θ角被分光晶体反射和聚焦，并通过二次准直器组件端部的狭缝进入探测器被检测。根据所检测到的该种元素特征X射线的强度即可计算样品中该元素的含量。其它元素的特征X射线因其波长不符合Bragg公式而被分光晶体和出射狭缝管管壁吸收。

众所周知，铝(Al)元素在玻璃、建材、地矿、冶金等行业的很多材料中的含量非常低，有的甚至低于几个ppm(partpermillion的缩写，表示百万分之)。现行的200W多元素同时测量型X荧光光谱仪采用PET、TAM平面晶体(以下简称平晶)的元素道分光装置，其无论从计数率、灵敏度、检出下限均不能达到检测痕量的要求，且这两种晶体在湿度比较大的环境下极易潮解，大大降低了其使用寿命。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的缺陷，从而提供一种用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，能够提高计数率、灵敏度，降低检出下限，提高仪器性能，改善了晶体的使用环境，扩展仪器在玻璃、建材、地矿、冶金等行业的应用范围。

为了实现上述目的，本实用新型的一种用于X荧光光谱分析仪的多层膜晶体分光装置，包括入射准直器组件、与所述入射准直器组件相连的分光盒组件以及与所述分光盒组件连接的出射准直器组件；所述入射准直器组件包括形成入射通道的入射管体，所述入射管体内设置有入射狭缝平行板；所述出射准直器组件包括形成出射通道的出射管体，所述出射管体内设置有出射狭缝平行板；所述分光盒组件包括盒体以及安装于盒体内的多层膜晶体组件，所述多层膜晶体组件包括晶体托架以及位于晶体托架上的多层膜晶体；所述入射通道及出射通道的光轴分别与所述多层膜晶体之间形成的入射角与出射角相等并同时等于Al元素特征X射线的衍射角θ。

所述入射通道及出射通道的光轴分别通过所述盒体的中心。

所述多层膜晶体为平面型晶体。

所述出射准直器组件远离所述盒体的端部设置有X射线探测器。

所述X射线探测器为流气式正比计数器。

所述多层膜晶体的中心与入射狭缝平行板、出射狭缝平行板之间的距离为0.3～1mm。

所述多层膜晶体组件还包括用于通过调整晶体托架角度而调整入射角的入射角调节装置。

在所述入射管体内还设置有用于调整入射狭缝宽度的狭缝宽度调节装置。

所述晶体托架上设置有转轴机构，通过所述入射角调节装置能够使所述晶体托架绕所述转轴机构旋转。

本实用新型的用于X荧光光谱分析仪的Al元素的分光装置，采用多层膜晶体作为色散和聚焦元件，由于多层膜晶体具有大的集光立体角和高的积分反射率，在固定道波长色散X荧光分析仪同一测量环境及测量条件(同一设备，相同管电压管电流，测量同一类样品)下，成倍的提高固定道波长色散X荧光分析仪对Al元素的灵敏度，降低检出下限，从而提高仪器的整体性能，扩大固定道波长色散X荧光分析仪的应用范围，且多层膜晶体的稳定性高解决了原有的PET、TAM晶体易潮解问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中附图标记表示为：

1-入射准直器组件；2-分光盒组件；3-出射准直器组件；4-多层膜晶体组件；11-

入射管体；12-入射狭缝平行板；13-狭缝宽度调节装置；21-盒体；31-出射管

体；32-出射狭缝平行板；41-多层膜晶体；42-晶体托架；42a-转轴机构；300-

X射线探测器。

具体实施方式