[实用新型]硅锭自动精检生产线

权利要求书

1.一种硅锭自动精检生产线，依次包括上料区、杂质检测工作区、外观检测工作区和下料区，其特征在于：上料区设置有用于取放硅锭的上料机器人（4），杂质检测工作区设置有传输带、直角坐标机器人（5）和红外检测装置（6），外观检测工作区设置有外观检测装置（7），下料区设置有下料机器人（8），直角坐标机器人（5）抓取传输带上的硅锭送至红外检测装置（6）处，红外检测装置（6）用于检测硅锭的内部杂质，外观检测装置（7）用于检测硅锭的外观缺陷。

2.按照权利要求1所述的硅锭自动精检生产线，其特征在于：所述上料机器人（4）、直角坐标机器人（5）、外观检测装置（7）和下料机器人（8）上均装设有视觉识别系统（11），所述视觉识别系统（11）由摄像机（12）、光源（13）和控制器组成。

3.按照权利要求1所述的硅锭自动精检生产线，其特征在于：所述上料机器人（4）、直角坐标机器人（5）和下料机器人（8）上均装设有用于取放硅锭的真空吸盘（14）。

4.按照权利要求3所述的硅锭自动精检生产线，其特征在于：所述真空吸盘（14）装设在上料机器人（4）的机械臂（41）的端部，视觉识别系统（11）装设在真空吸盘（14）的侧部。

5.按照权利要求1所述的硅锭自动精检生产线，其特征在于：所述直角坐标机器人（5）包括支架（51）、X轴滑轨（52）、Y轴滑轨（53）和Z轴升降杆（54），X轴滑轨（52）由一对相互平行设置在支架（51）上的滑轨构成，Y轴滑轨（53）横跨在X轴滑轨（52）上，Y轴滑轨（53）通过滚珠丝杠带动运行，Z轴升降杆（54）竖直安装在Y轴滑轨（53）上，真空吸盘（14）和视觉识别系统（11）装设在Z轴升降杆（54）的底面端部。

6.按照权利要求1所述的硅锭自动精检生产线，其特征在于：所述外观检测装置（7）还包括工作台（71）和划线标记组件（72），工作台（71）上架设有机架（73），机架（73）上装设有通过滚珠丝杠带动运行的Y轴滑杆（74），Y轴滑杆（74）上竖直安装有Z轴滑杆（75），视觉识别系统（11）装设在Z轴滑杆（75）的末端，摄像机（12）固定在Z轴滑杆（75）上，光源（13）罩在摄像机（12）的外围，划线标记组件（72）固定装设在无影光源（13）的上方。

7.按照权利要求5所述的硅锭自动精检生产线，其特征在于：所述红外检测装置（6）包括相对设置的两个检测台（61），两个检测台（61）上均装设有红外检测设备（62），红外检测设备（62）装设在支架（51）内部且位于Y轴滑轨（53）和Z轴升降杆（54）的下方。

8.按照权利要求1所述的硅锭自动精检生产线，其特征在于：所述传输带包括第一传输带（1）、第二传输带（2）和第三传输带（3），上料机器人（4）位于第一传输带（1）的输入端，直角坐标机器人（5）位于第一传输带（1）输出端，第二传输带（2）和第三传输带（3）位于直角坐标机器人（5）远离第一传输带（1）的一侧，第二传输带（2）和第三传输带（3）相互平行,外观检测装置（7）位于第一传输带（1）和第二传输带（2）的输出端。

9.按照权利要求8所述的硅锭自动精检生产线，其特征在于：所述第一传输带（1）、第二传输带（2）和第三传输带（3）上均装设有多个硅锭检测传感器（9）。